판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 580LC #9091964

TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC는 반도체 및 집적 회로 제조 산업의 다양한 응용 분야에 사용하도록 설계된 고정밀, 고 처리량 etcher/asher입니다. 이 장비는 플라즈마 소스, 공정 챔버, 진공 펌프, 컨트롤러 및 소프트웨어를 통합하는 고효율, 자체 포함 시스템을 기반으로합니다. 이 조합은 사용자에게 높은 정확도와 프로세스 제어를 제공합니다. TEL TE 580LC는 선형 에치/애셔 응용 프로그램에서 기능 크기를 최대 10 m까지 처리 할 수 있습니다. 이 장치에는 멀티 슬릿 선형 어레이 스캐너 (multi-slit linear array scanner) 가 장착되어 웨이퍼 표면의 균일 한 노출 및 정확한 에치/애셔 프로파일 제어를 제공합니다. 챔버에는 향상된 공정 챔버 (process chamber) 설계가 있어 처리량이 향상되고 공정 제어가 향상됩니다. TOKYO ELECTRON TE 580LC는 일관된 에칭/애싱, 실시간 질량 분석 모니터링 및 정확한 압력 제어와 같은 다양한 프로세스 제어 기능을 갖추고 있습니다. 고급 프로세스 제어 기술은 일관되게 높은 품질의 결과와 향상된 프로세스 반복성을 보장합니다. TE 580LC는 또한 고압 안전 밸브, 셔터 잠금, 원격 시작 등 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이 기계는 가스 배기 (gas exhaust) 매니 폴드 (manifold) 를 통합하여 효율적이고 안전한 가스 사용을 가능하게하며 안전한 작업 환경을 유지하는 데 도움이됩니다. 이 도구는 또한 다수의 팬과 방열판 (heat sink) 을 갖춘 견고하고 이중화된 냉각 에셋을 제공하여 작동 온도를 안정적으로 유지하고 과열 방지, 장기 모델 성능을 유지합니다. TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC에는 사용하기 쉬운 그래픽 사용자 인터페이스가 있으며, 자동 레시피 및 프로세스 설정은 일상적인 프로세스에 사용할 수 있습니다. 또한, 정기적 으로 계획 된 예방 유지 보수 를 통해, 적절 한 작동 을 보장 해 주는, 장비 도 손쉽게 유지 할 수 있다. 전반적으로, TEL TE 580LC는 신뢰할 수 있고 강력한 etcher/asher 시스템으로, 다양한 에칭/애싱 응용 프로그램에 대한 높은 정확성과 반복성을 제공합니다. 이 장치는 견고하게 구성되고 사용이 간편하며, 우수한 성능과 일관된 결과를 제공할 수 있습니다.