판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 580LC #9091963

TEL / TOKYO ELECTRON TE 580LC
ID: 9091963
웨이퍼 크기: 6
빈티지: 1998
Oxide etcher, 6" Chamber 1998 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC는 액정 디스플레이 (LCD) 및 박막 트랜지스터 액정 디스플레이 (TFT-LCD) 의 생산을 위해 설계된 고급 에처/애셔입니다. 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기능을 통해 에칭 (etching) 및 애쉬 (ashing) 레이어의 모양, 크기 및 두께를 매우 정확하게 제어할 수 있습니다. 580LC는 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 가스를 설치하여 고품질 LCD 및 TFT-LCD를 생산할 수 있는 대형 오픈 프레임 설계를 갖추고 있습니다. 또한 자동화된 구성 가능한 장비를 갖추고 있어 에치 속도 (etch rate) 및 균일성 (uniformity) 과 같은 설정과 LCD 또는 TFT-LCD 품질과 관련된 기타 제어 매개변수를 조정할 수 있습니다. 580LC는 고해상도 LCD 및 결함비가 낮은 TFT-LCD (TFT-LCD) 에 적합한 고성능 스퍼터링 및 에칭 기술을 사용합니다. 고해상도 이미징 시스템 (High-resolution Imaging System) 은 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 프로세스에 대한 제어를 강화하고 자동 광학 장치를 장착하여 에치 및 애싱 해상도를 정확하게 조정합니다. 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 매개변수는 LCDW 소프트웨어에서 쉽게 시작되므로 사용자가 정확한 요구 사항에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, 580LC는 고급 스캐닝 (scanning) 기능을 자랑하며, 이를 통해 높은 정확도로 반복적인 패턴을 쉽게 에치 (etch) 하고 ashing 할 수 있습니다. 580LC의 고급 패턴 인식 (Advanced Pattern Recognition) 기능은 패턴 프로젝트와 관련된 시간과 비용을 줄여줍니다. 580LC의 효과적인 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 작업은 매우 정밀한 패턴의 일관된 생산을 보장하며, 고해상도 패턴의 빠르고 안정적인 생산을 제공합니다. 에처 (etcher )/애셔 (asher) 는 고급 모니터링 및 진단 기능을 제공하여 에칭 성능을 추적하고 프로덕션의 불규칙성을 식별할 수 있습니다. 580LC의 내장형 Auto-Origin 기계는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 매개변수를 자동으로 조정하고 세밀하게 조정하여 최적의 에치 레이트와 애싱 품질을 정확하게 결정할 수 있습니다. 따라서 TEL TE 580LC는 LCD 및 TFT-LCD 생산에서 뛰어난 품질과 생산성을 달성 할 수있는 고급 etcher/asher입니다.
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