판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 580 #9269144

TEL/TOKYO ELECTRON TE 580은 반도체 산업에 이상적인 다재다능한 중형 에처/애셔입니다. 고정밀 기술과 현대적인 설계를 통해 정확하고 예측 가능한 에칭/애싱 결과를 얻을 수 있습니다. TEL TE 580에는 OFC 옵티컬 에칭 장비 (Optical Etching Equipment) 가 장착되어 있습니다. OFC 옵티컬 에칭 장비는 전체 시야의 프로젝터와 조명을 사용하여 정확한 에치/애쉬 장치를 사용합니다. 이 시스템은 shallow 및 deep etching 응용 프로그램 모두에 TOKYO ELECTRON TE 580을 사용할 수 있습니다. 또한 PNP Transfer Unit이 장착되어 있으며, 한 번에 최대 8 개의 웨이퍼 카세트를 전송 할 수 있습니다. 이 기계는 카세트 전환 시간을 대폭 단축하여 생산성이 높고 효율적인 프로세스를 제공합니다. 또한, PNP 전송 도구 (PNP Transfer Tool) 는 웨이퍼 카세트의 수동 처리가 필요없어서 더 깨끗한 기판이 생성됩니다. TE 580은 소형 디자인으로, 중소기업 환경에 적합합니다. 또한, 이 기계에는 고급 제어 에셋 및 종합 터치 패널 인터페이스가 장착되어 있습니다. 이 모델은 TEL/TOKYO ELECTRON TE 580을 수동으로 실행하거나 완전하게 자동화된 생산 라인에 쉽게 통합 할 수 있도록 보장합니다. TEL TE 580에는 CDS (Chemical Delivery Equipment) 및 IPS (Inline Process Verification) 에 대한 지원을 포함하여 다양한 주변 장치 기능이 있습니다. 이는 다중 모드 배기 (multi-mode) 기능과 더불어 에너지 비용을 절감하고 최고의 환경 표준을 준수할 수 있습니다. 마지막으로, TOKYO ELECTRON TE 580에는 in-situ 레시피 개발 시스템이 장착되어 있으므로 복잡한 멀티 레이어 에칭 레시피를 쉽게 만들 수 있습니다. 전반적으로, TE 580은 종합적이고, 효율적이며, 신뢰할 수있는 etcher/asher로, 반도체 산업에 이상적입니다. 첨단 제어 장치 (Advanced Control Unit) 와 결합된 고정밀 에칭/애싱 결과는 모든 중소, 성장, 중견 기업 환경에 적합한 솔루션입니다.