판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 580 #9198155

TEL / TOKYO ELECTRON TE 580
ID: 9198155
Oxide etcher, 6" SiN Mark Prcess: RIE(2).
TEL/TOKYO ELECTRON TE 580 etcher/asher는 반도체 제조 산업에 사용하도록 설계된 강력하고 정밀한 에칭 및 윤곽식 기계입니다. 이 기계는 최소 선 너비 (minimal line width), 모서리 청소 (clean edges), 종횡비 감가상각 (depreciating aspect ratios) 등의 피쳐를 사용하여 수많은 재료 레이어를 에칭하여 패턴화된 웨이퍼를 생성할 수 있습니다. 이온 빔 워터 클리닝 (ion beam water cleaning) 및 난류 제어 (turbulence control) 와 같은 기능은 완벽한 고품질 결과를 더욱 보장하는 데 도움이됩니다. TEL TE 580 (TEL TE 580) 은 전자 빔을 사용하여 진공실에 공급되는 특정 재료 및 필름을 정확하게 에칭 또는 애셔합니다. 기계는 음의 진공 압력 (negative vacuum pressure) 으로 작동하여 에칭 과정에서 오염 위험을 줄입니다. 에칭 프로세스는 개인용 컴퓨터에 의해 제어되며, 이를 통해 빔 전류 (beam current), 모양 (shape), 너비 (width), 각도 (angle) 등을 포함한 정확한 매개변수를 설정할 수 있습니다. 이 기계에는 고압 연동 기능, EMI 차폐 (EMI 차폐), 전동식 스테이지 보상 (Motorized Stage Compensation) 과 같은 센서와 안전 메커니즘 배열이 장착되어 있어 청소실 환경을 유지하면서 안전하고 정확하게 에칭이 수행됩니다. 이 기계는 또한 여러 개의 빔 (beam) 현재 모니터링 시스템 (monitoring system) 을 갖추고 있으며, 기계가 처리 중인 웨이퍼 (wafer) 재료의 잘못된 정렬 또는 불일치를 감지하고 원하는 결과를 얻기 위해 설정을 적절히 조정할 수 있습니다. 도쿄 전자 TE 580 (TOKYO ELECTRON TE 580) 은 복잡한 물질을 에칭하고 개략적으로 설명하기 위해 설계된 고급 기계입니다. 환경 안전 (Environmental Safety) 기능, 매우 정확한 에칭 및 아웃라이닝 기능, 강력한 안전 모니터링을 통해, 이 기계는 반도체 제작 산업의 연구 개발에 적합합니다.
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