판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S #9226073

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000S는 고급 에처/애셔로, 고급 정밀 에칭 어플리케이션을 위해 설계되었습니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 다양한 기판의 고해상도 리소그래픽 에칭을 용이하게하도록 설계된 다용도 고성능 장치입니다. 최대 1000 ° C의 온도에서 최대 8 인치 직경의 웨이퍼에서 습식 공정을 수행 할 수 있습니다. TEL TE 5000S는 고급 상단 멀티 빔 스캐너 (top-side multi-beam scanner) 를 특징으로하며, 에치 패턴의 정확한 에지 정의 (edge-definition) 를 제공합니다. TOKYO ELECTRON TE 5000 S는 고급 광학 영상, 고해상도 스캐닝 전자 송전계, 패턴 정의에 대한 전자 빔 리소그래피 (Electron Beam Lithography) 와 같은 다양한 이미징 도구를 통해 다양한 고유 한 독점 기능을 제공합니다. 또한 TE 5000S (Automated Process Control Measure) 에는 에칭 공정에 사용되는 가스와 용액의 화학 성분을 모니터링하는 기능, 에처 내부의 온도 및 압력 수준 (Pressure Level) 을 포함한 여러 자동 프로세스 제어 측정이 포함되어 있습니다. 또한, 이 장치에는 에칭 (etch) 시 최대 정확도를 보장하기 위해 원자력 현미경 (atomic force microscopy) 을 사용하는 등 다양한 공정 측정 도구가 장착되어 있습니다. 이러한 기능 외에도 TE 5000 S는 장치, 운영자, 주변 환경을 보호하는 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 여기에는 격리 챔버, 저류 비상 차단 밸브, 안전 센서 및 경보 배열이 포함됩니다. 뿐 만 아니라, 이 장치 는 튼튼 한 "스테인레스 '강철 주거지 로서," 에칭' 과정 중 어떤 식 으로든 손상 되지 않거나 타락 되지 않도록 설계 되었다. 요약하면, TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 S는 강력하고 정확하며 신뢰할 수있는 에칭/애싱 장치입니다. 여러 가지 정교한 기능을 제공하여 다양한 기판의 정확한 에칭 (etching) 을 가능하게 하고, 최대한의 안전성과 정확성을 보장하는 고급 자동 프로세스 제어 (automated process control) 측정 및 안전 (safety) 기능을 제공합니다.