판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S #9128547

TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S
ID: 9128547
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1999
Dry etcher, 6" 1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000S는 고급 회로의 에칭, 박막 증착 및 플라즈마 처리와 같은 특수 응용 분야에 사용되는 에처/애셔입니다. 이 장비는 고정밀 자동 초점 시스템 (auto-focus system) 을 갖추고 있으며, 최대 50 미크론 정확도가 가능하여 다양한 어플리케이션에 적합합니다. TEL TE 5000S (TEL TE 5000S) 는 장치 기판에 전달되는 반응성이 높은 화학 물질을 사용하는 에처/애셔입니다. 그 다음 에 "레이저 '광선 을 발생 시키는 전기" 펄스' 에 의하여 반응성 화학 물질 이 "플라즈마 '로 전환 된다. 이 "레이저 '광선 은 기질 에 도달 하여 화학 물질 을 일정 한 온도 까지 가열 시킨다. 이 반응 은 매우 훌륭 한 합금 을 만들어 지는데, 그 합금 은 표면 물질 을 빼내어, 화학적 으로 순수 하고 깨끗 한 표면 을 남긴다. TOKYO ELECTRON TE 5000 S에는 오류 감지 및 보정을위한 내장 논리 분석기, 자동 초점 장치, 보다 정밀한 에칭을위한 고출력 레이저 스팟 크기 알고리즘 등 다양한 중요한 기능이 있습니다. 이 기계는 또한 화학 물질, 타이밍, 세트 매개변수 등 다양한 자동 제어 기능을 갖추고 있습니다. TE 5000S 는 시판되는 모든 툴의 고급 에칭/플라즈마 처리 기능을 제공합니다. 이 기능들은 복잡한 전자 회로의 에칭 (etching), 박막 기판 처리, 산화물 층 (oxide layer) 과 같은 광범위한 응용 프로그램을 가능하게합니다. 또한이 자산에는 마스크 없는 리소그래피와 같은 최신 석판화 도구가 통합되어 있습니다. TOKYO ELECTRON TE 5000S는보다 정확한 실행을 위해 사전 프로그래밍 된 에치 및 플라즈마 레시피 라이브러리도 포함합니다. 또한, 이 모델은 완벽한 프로세스 제어를 위해 다양한 모니터링/제어 기능을 제공합니다. 또한 TEL TE 5000 S는 일관된 결과를 위한 고성능 모니터링 장비를 갖추고 있습니다. TE 5000 S etcher/asher는 정밀하게 에치 (etch) 하고 처리하려는 사람들에게 훌륭한 기능을 제공합니다. 이 시스템은 높은 수준의 정확성, 안정적인 성능, 그리고 성공적인 결과를 보장하기 위한 자동화된 제어 기능 (Automated Control Function) 을 제공합니다. 응용 프로그램에 관계없이 TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 S는 효율성과 정확성으로 기판을 정확하게 식각 할 수 있습니다.
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