판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #9396121

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000은 주로 반도체 처리를 위해 설계된 고성능, 높은 정확도 에처/애셔입니다. 따라서, 집적 회로 장치의 사내 제작에 이상적인 도구입니다. TEL TE5000은 단일 스테이션, 대규모 에처/애셔로, 전체 프로세스 레시피 기능을 갖춘 고급 컨트롤러를 갖추고 있습니다. 서브미크론 IC 생산을 위해 설계된 것을 포함하여 다양한 포토 리스트 (photoresist) 를 정확하게 패턴화 할 수 있습니다. 디지털 유니버설 컨트롤은 빠른 예열 및 최적화된 플라즈마 처리 기능을 허용합니다. TOKYO ELECTRON TE-5000은 석영 웨이퍼 및 다양한 산화물 필름을 포함하여 다양한 기질에 균일 한 등각 에칭을 제공합니다. 장치 성능 요구 사항을 충족하도록 에치 속도를 정확하게 프로그래밍 할 수 있습니다. 실리콘은 1 분 이내에 두께의 10% 미만을 에치합니다. TEL/TOKYO ELECTRON TE-5000에는 etch/ash 프로세스의 원격 모니터링 및 분석을 허용하는 진단 포트도 포함되어 있습니다. 이 포트를 통해 운영자는 에치 (etch) 균일성을 모니터링하고 필요에 따라 조정할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON TE 5000은 또한 에칭/애싱 후 응용 프로그램을위한 광범위한 구성 요소와 호환됩니다. 여기에는 화학 목욕 탱크, 질소 건조기 및 혈장 증착 시스템이 포함됩니다. 발작 과정에서 TEL/TOKYO ELECTRON TE5000은 환경 친화적 인 방식으로 표면에서 오염 물질을 제거합니다. 뛰어난 에치/애쉬 성능 외에도 TE-5000 역시 매우 쉽게 작동할 수 있습니다. 구성 가능한 기능의 범위를 통해 사용자는 프로세스 매개변수를 요구 사항에 맞게 쉽게 조정할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON TE5000은 광범위한 교육이 필요하지 않으며 기존 Fab 프로세스에 쉽게 통합할 수 있습니다. 전반적으로 TEL TE-5000은 탁월한 정확도, 제어 및 성능을 제공하는 고급 etcher/asher입니다. 정밀 반도체 에칭/애싱 (etching/ashing in-house) 을 수행하고 세계적 수준의 장치 생산 결과를 얻으려는 모든 사람에게 이상적인 솔루션입니다.