판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #9269142

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000은 반자동 저가 에처/애셔입니다. 얇은 필름 재료를 에치 및 또는 애셔링하도록 설계되었습니다. TEL TE5000에는 저전력 플라즈마 소스, 고출력 마이크로 파 플라즈마 소스 및 저압, 저가형 가스 소스가 장착되어 있습니다. 소스 조합은 유리, 실리콘, 금속 및 유기 물질을 포함한 다양한 기질의 에칭 또는 재싱을 허용합니다. TOKYO ELECTRON TE-5000 에치 앤 애쉬 장비는 저가 플라즈마 에칭 및 저압 화학 애싱 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. TEL/TOKYO ELECTRON TE-5000 에치 앤 애쉬 시스템은 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 제어됩니다. 이 인터페이스를 통해 운영자는 에칭 및 어싱 프로세스를 쉽게 프로그래밍하고 모니터링할 수 있습니다. TEL TE-5000은 단면 에치, 2 면 에치, 에치 앤 애쉬 및 2 단계 에치 앤 애쉬와 같은 특정 프로세스에 대한 다양한 에칭 및 애싱 프로그램을 제공합니다. 또한 TE-5000은 저전력 DSE 모드 (클리닝 및 디티타늄) 에서 고출력 DCD 모드 (알루미늄 및 티타늄 계층) 까지 다양한 스퍼터링 모드 설정을 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON TE5000 에치 앤 애쉬 장치에는 고급 진단 기술도 장착되어 있습니다. 이 기계는 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 프로세스에 대한 실시간 분석 및 예측을 포함하여 인라인 진단을 제공합니다. 이 기술을 통해 운영자는 현장 (in-situ) 처리 매개변수의 상태를 모니터링하여 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 프로세스에 대한 즉각적인 피드백을 제공합니다. TEL TE 5000 (TEL TE 5000) 은 견고하고 견고한 프레임으로 구성되며 압력 제어 메커니즘, 냉각 시스템 등 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. TOKYO ELECTRON TE 5000에는 자동 플라즈마 청소, 가스 복구 및 제어 시스템 등 다양한 추가 기능도 제공됩니다. TOKYO ELECTRON TE5000은 박막 재료를 에칭하고 ashing하는 다용도, 저렴한 에처 및 애셔입니다. 고급 사용자 인터페이스 (Advanced User Interface) 와 진단 (Diagnostics) 기술이 적용되어 에칭 (Etching) 및 애싱 (Ashing) 프로세스를 손쉽게 조작하고 모니터링할 수 있습니다. TE 5000은 다양한 기질에 대해 저가치 플라즈마 에칭 및 저압 화학 애싱 모드를 제공합니다. 또한, 이 도구는 인라인 진단, 자동 제어 시스템, 다양한 안전 기능 (압력 제어, 냉각 시스템 등) 을 제공합니다.