판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #9236835

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 (TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000) 은 최고 수준의 안정성과 생산성을 갖춘 고성능 에칭 및 애싱 기능을 제공하도록 특별히 설계된 에처 및 애셔 장비입니다. wafer processing, photomask processing, circuit board production, material removal 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. TEL TE5000 (TEL TE5000) 은 에칭 및 애싱 프로세스를 정확하게 제어하는 기능을 갖춘 고속, 저압, 에칭 챔버를 포함하는 완전 자동화 시스템입니다. 균일 한 에치 레이트 (etch rate), 뛰어난 반복성 (excellent repeatability) 을 제공하며 광범위한 고급 에치 및 애싱 화학으로 활용 할 수 있습니다. 자동 프로세스 제어 장치 (automatic process control unit) 를 사용하여 최소한의 연산자 상호 작용으로 반복 가능하고 정밀한 에칭 및 애싱 결과를 제공 할 수 있습니다. 기계는 이중 단계 주사 전자 현미경 (SEM) 및 진공 공정 챔버와 완전히 통합됩니다. 이러한 컴포넌트를 사용하면 공구가 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 화학 물질과 기질 사이의 상호 작용을 최소화하면서 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한 SEM 에셋을 사용하면 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 실시간으로 모니터링하여 최소한의 폐기물로 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. TOKYO ELECTRON TE-5000은 또한 고 처리량 자동 웨이퍼 에칭, 딥 에칭, 기능 크기 제어를 위한 선택적 에칭, 증기 에칭 응용 프로그램 등 확장 된 프로세스 기능을 제공합니다. 또한, 다양한 공정 화학 물질을 지원하기 위해 다양한 고급 에칭 (edching) 및 애싱 (ashing) 화학 물질이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 기판 호환성이 최적화되고 다른 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 시스템보다 프로세스 유연성과 정밀도가 높아집니다. TE5000은 안전하고 안정적인 에칭 및 애싱 모델로 설계되었습니다. 안전 연동 (Safety Interlock) 은 부주의한 작동을 방지하며, 전자스톱 (e-stop) 스위치는 비상 사태가 발생할 경우 장비를 자동으로 정지시킵니다. 또한, 향상된 전기 및 안전 보호 시스템 (Enhanced Electrical and Safety Protection System) 을 사용하여 필수 안전 표준을 준수하도록 설계되었습니다. 결론적으로 TEL TE 5000은 응용 프로그램을 에칭 및 애시하는 데 이상적인 도구입니다. 고급 기능, 고정밀도, 안정성, 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 모든 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 요구 사항을 완벽하게 선택할 수 있습니다.