판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #9181766

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000은 정확하고 반복 성을 갖춘 에처/애셔 (etcher/asher) 로, 웨이퍼, 집적 회로 및 기타 구성 요소를 효과적으로 에치 및 재로 만듭니다. 이 기계는 고급 광학 분광사진기 (Optical Spectrophotometer) 를 사용하여 우수한 에칭 및 애싱 (ashing) 을 위해 프로세스 매개변수를 실시간으로 정확하게 측정합니다. TEL TE5000 (TEL TE5000) 에 의해 생성 된 초고진공 환경은 공기 중의 입자가 에칭/애싱 (etching/ashing) 프로세스에 영향을 미치지 않도록 방지하고, 안정적인 작동을 위해 매우 깨끗한 환경을 제공합니다. 또한, 애셔 (asher) 는 더 작은 기능의 원치 않는 에칭을 최소화하기 위해 향상된 선택성을 제공합니다. TOKYO ELECTRON TE-5000은 최대 온도 850 ° C, 최대 챔버 압력 0.5 torr 및 Asher 대역폭 8kHz의 기판 크기를 지원합니다. 이 장비는 최대 20 초의 단계 높이를 가지며, 균일 한 에칭과 산화물 층의 짝수 축소를 보장하는 프로그래밍 가능한 코일 어셈블리 (Programmable Coil Assembly) 를 갖추고 있습니다. 다양한 웨이퍼 처리 세부 사항을위한 프로그램 포함도 TE 5000에서 가능합니다. TE-5000에는 공정 원자로 챔버, ICCU (In-Process Chamber Control Unit), 견고한 고도 SEM 열, 빠른 운영 화학 공급 시스템, 고성능 마이크로 웨이브 생성기 및 실시간 가스를 포함하여 프로세스를 최적화하기 위해 다양한 하위 시스템이 있습니다. 또한 빠른 데이터 검색, 대화식 통신, 프로세스 최적화, 친숙한 그래픽 인터페이스에 특화된 소프트웨어 패키지를 사용합니다. 안전 및 효율성 향상을 위해 TOKYO ELECTRON TE5000에는 웨이퍼 카세트 틸트 머신, 미세 미립자 수집을위한 IPF (In-Plane Service Bag Filter) 및 필터 및 클리너 도구가 포함 된 매우 안전한 소음 감소 인클로저가 포함됩니다. 또한, 독자적인 열 마그네트론 기술 (THANM) 을 활용하여 가스 소비를 줄이고 작동 비용을 줄여 에너지를 절약하도록 설계되었습니다. 전반적으로 TE5000은 웨이퍼, 집적 회로 및 기타 부품의 정확한 에칭 및 재싱을 위해 설계된 고급 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 고급 광학 분광계 (Optical Spectrophotometer) 와 다양한 최첨단 기능을 갖춘 이 기계는 안정적인 작동과 향상된 처리 능력을 보장합니다.