판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #293772672

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000은 반도체 산업의 최첨단 에처/애셔입니다. 이 장비는 어려운 재료를 처리할 때에도 탁월한 정확성과 안정성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 고정밀 에칭/애싱 기능과 정밀 절삭, 드릴링 및 용접 응용 프로그램을 갖추고 있습니다. 내장 온도 센서는 탁월한 정확도로 자동 온도 제어를 지원합니다. TEL TE5000은 반도체 생산에 사용되는 필수 프로세스 인 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 모두 수행 할 수 있습니다. 또한 사용자 친화적 인 그래픽 연산자 인터페이스 (Graphical Operator Interface) 를 통해 프로세스 매개변수를 완벽하게 제어할 수 있으며, 에칭 (Etching) 및 어싱 (Ashing) 프로세스 모두에 대한 프로그램 데이터를 가져오기, 수정 및 익스포트할 수 있는 통합 소프트웨어 패키지가 제공됩니다. TOKYO ELECTRON TE-5000에는 효율적인 에칭 및 애싱 프로세스를위한 강력한 진공 냉각실이 포함되어 있습니다. 이 챔버 (chamber) 는 각 레이어의 균일 한 패턴화를 보장하고 기판의 가열 효과를 최소화합니다. 또한, 챔버에는 깨끗하고 안정적인 환경을 보장하기 위해 지연 지연 (delay-lag) 압축기와 필터가 장착되어 있습니다. 이 기계는 공정 재료의 이동을위한 고해상도, 6 축 로봇 암을 특징으로합니다. 이 로봇 암은 빠르고, 정확하고, 반복 가능한 동작을 제공하여, 더 뛰어난 레이어 해상도와 뛰어난 프로세스 반복성을 제공합니다. 사용자는 프로세스 중에 재료의 흐름 속도를 제어할 수도 있습니다. 또한 TE 5000 은 다양한 모니터링 시스템, 데이터 로깅 시스템, 입력/출력 장치, 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스 모두를 위한 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 오염을 방지하기 위해 공정 재료를 저장하는 대용량 챔버 탱크 (chamber tank) 가 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON TE5000 (TEL/TOKYO ELECTRON TE5000) 은 각 사이클 전에 완전히 보정 및 테스트되며 품질 및 성능에 대한 고객 사양 및 업계 표준을 능가하도록 설계되었습니다. 이 툴은 반도체 업계에서 다양한 애플리케이션의 정확성과 안정성을 높여줍니다 (영문).