판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #293758430

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000은 다양한 프로세스에 사용되는 에처/애셔입니다. 포토 esist 제거, 금속 에칭 및 필름 증착에 사용될 수있는 멀티 스테이션 도구입니다. 이 제품은 여러 애플리케이션을 위해 설계되었으며, 저용량 (low-volume) 과 대용량 (high-volume) 생산 요구를 모두 처리할 수 있습니다. TEL TE5000 (TEL TE5000) 에는 디지털 제어 보드가 장착되어 있어 사용자가 정확한 제어 및 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 이 도구에는 온보드 진단 장비가 장착되어 있어 유지 관리 및 문제 해결이 용이합니다. TOKYO ELECTRON TE-5000은 로봇 XYZ 모션 스테이지를 특징으로하며, 부하 용량은 최대 200 파운드, 높이 조절 가능 및 X, Y 및 Z 축에서 최대 45 도의 모션 범위를 갖습니다. 이 시스템은 또한 프로그래밍 가능한 컨트롤러, 다중 헤드, 비전 시스템, 로봇 암, 가스 믹싱 패널 등 다양한 주변 장치를 갖추고 있습니다. 이를 통해 사용자는 고유한 요구 사항에 맞게 장치를 사용자 정의할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON TE5000은 또한 내구성 스테인리스 스틸 구조를 특징으로하며 -30C ~ + 60C 사이의 가변 온도 범위, 20 ~ 90% 사이의 가변 상대 습도 범위 및 5 ~ 10.3 바. 이 기계는 직경이 최대 8 "(200mm) 인 웨이퍼를 수용 할 수 있으며, 다양한 반응 챔버 및 공구 구성과 호환되도록 설계되었습니다. TEL/TOKYO ELECTRON TE-5000은 또한 열 손상으로부터 섬세한 프로세스 재료를 보호하는 최대 + 160C, 조절 가능한 가압 가스 채널 및 고온 안전 시스템의 조절 가능한 온도 범위를 제공합니다. 이 도구는 또한 가공소재 서피스 피쳐를 검사할 수 있는 통합 시각 도구 (Integrated Vision Tool) 를 제공하여 에칭 또는 증착 프로세스를 빠르게 조정하여 품질 (Quality Result) 을 보장합니다. TEL TE-5000 은 TEL TE-5000 의 기능과 더불어 광범위한 반자동/자동 로딩 시스템 (semi-automatic/automatic loading system) 과도 호환되며, 저용량 및 대용량 운영 모두에 이상적인 솔루션입니다. 이 자산은 포토리스 (photoresist), 실리콘 (silicon), 사파이어 (sapphire) 및 기타 재료를 포함한 여러 재료와 호환되므로 많은 응용 프로그램에 다용도 도구로 사용됩니다. 전반적으로, TE 5000은 다양한 프로세스를 처리하도록 설계된 안정적이고 효율적인 etcher/asher입니다. 다양한 기능과 주변 장치를 갖춘 멀티 스테이션 툴 (Multi-Station Tool) 로, 특정 요구 사항에 맞게 모델을 사용자 정의할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON TE5000은 정밀 프로세스 제어, 넓은 온도 범위, 높은 신뢰성 및 생산 효율성을 제공하여 에칭 (etching) 및 증착 (deposition) 프로세스에 적합합니다.