판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #293747707

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000은 동급 최고의 성능과 생산성을 제공하는 고급 에칭/애싱 장비입니다. 이 반자동 시스템은 금속, SOI (silicon-on-insulator) 기판 및 기타 재료를 포함하여 다양한 기판을 비용 효율적이고 신뢰할 수 있도록 설계되었습니다. 강력한 SCS (Substrate Conditioning Unit) 기술을 사용하여 동작 제어 기계는 우수한 기판 관리를 제공하며, 에칭 전에 표면 준비에 필요한 시간을 크게 줄입니다. 이 하이엔드 에칭 플랫폼을 사용하여 작은 크기의 기판을 처리 할 수도 있습니다. TEL TE5000 (TEL TE5000) 은 다양한 기판의 복잡한 피치 기능을 위해 고품질 에칭 결과를 생성하도록 설계되었습니다. 다중 축 고속 X, Y 및 Z 스캐닝 스테이지가 특징이며, 이는 보다 빠르고 정확한 기판 이동을 가능하게합니다. 이 도구에는 또한 열팽창 및 기타 교란을 효과적으로 보상하는 고정밀 레이저 간섭계 (high-precision laser interferometer) 가 포함되어 있습니다. 닫힌 루프 피드백 (closed-loop feedback) 은 대규모의 기판 크기에 걸쳐 높은 에치 일관성을 보장하며, 에칭 프로세스의 뛰어난 반복성과 신뢰성을 제공합니다. 에셋에는 에칭 공정의 플라즈마 균형, 압력, 온도를 최적화하고 제어하는 통합 된 고급 대기 플라즈마 소스 (advanced atmospheric plasma source) 도 포함되어 있습니다. 이 모델은 효율적인 저항 제거 장비를 갖추고 있으며, 신뢰성 있고 균일 한 저항 제거를 위해 향상된 소프트 베이크 프로세스를 제공합니다. TOKYO ELECTRON TE-5000의 에칭 속도는 고급 RF-ETP (RF Enhanced-Throughput Process) 기술에 의해 더욱 증가합니다. 이 혁신적인 프로세스는 에칭 정확도를 높이는 동안 에칭 시간을 줄입니다. TOKYO ELECTRON TE5000 (TOKYO ELECTRON TE5000) 의 효율적인 운영 및 유지 보수는 혹독한 생산 환경에서 수동 및 자동 시스템 통합에 적합합니다. 이 저비용 및 고성능 에칭 장치는 탁월한 비용 절감 효과와 탁월한 성능을 제공합니다. 탁월한 에칭 기능으로 인해 TEL TE 5000은 오늘날 가장 기술적으로 까다로운 어플리케이션에 권장됩니다.