판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9098711

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC (에칭/애싱) 장비는 광범위한 고성능 에칭 및 애싱 프로세스를 제공하는 반자동, 다목적, 고급 에칭 및 애싱 시스템입니다. TEL TE 5000 ATC 장치는 최고의 에칭 (etching), 어싱 (ashing) 성능 및 가변성, 최대 생산성을 제공하도록 설계된 모듈식 머신입니다. 이 장치는 여러 샘플을 동시에 처리하기 위해 4 개의 별개의 실험 구역으로 사전 제작되었습니다. 4 가지 프로세스는 모든 실험의 개별 요구 사항을 충족하도록 완전히 사용자 정의 할 수 있습니다. 또한, TOKYO ELECTRON TE 5000ATC는 추가 모듈로 쉽게 사용자 정의하여 기능을 더욱 확장 할 수 있습니다. 이 도구는 정밀 제어 된 HT 형 전자 총으로 구동되며, 에칭과 애싱 모두 가능합니다. 터치스크린 제어 (touch-screen control) 및 실시간 프로세스 모니터링이 가능한 직관적인 사용자 인터페이스로 사용이 간편합니다. 금속 기판의 에치 레이트 증가를위한 플라즈마 생성기 (plasma generator) 와 자동 로딩 및 언로딩을위한 배치 로더 (batch loader) 가 개선되었습니다. TE 5000 ATC는 실리콘, 화합물 반도체, 금속 등 다양한 물질을 에칭 및 재싱하기위한 정교하고 자동화된 도구입니다. 현대의 에치/애쉬 (etch/ash) 처리 요구 사항에 따라 반복 가능, 정확하게 에치 및 재 결과를 생성하도록 설계되었습니다. TEL TE 5000ATC 는 강력한 프로세스 및 데이터 관리 기능을 제공하며, 이를 통해 사용자는 레시피 및 기타 프로세스 매개변수를 저장, 검색할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC는 다양한 가스와 정밀 전달 시스템을 사용하여 정확하고 반복 가능한 에치/애쉬 결과를 제공합니다. "가스 '공급 은 일관성 있고 반복 할 수 있는 식각 속도 를 보장 하기 위해 능동적 으로 조절 되고 모니터링 된다. 고유 한 압력 흐름 컨트롤러 (Pressure Flow Controller) 를 사용하면 여러 가스를 챔버로 정확하게 압력 제어할 수 있습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000ATC는 수많은 재료의 정확한 에칭 및 재싱을위한 강력하고 다기능 도구입니다. TEL 고급 프로세스 기능은 실리콘, 화합물 반도체, 금속 등 다양한 에칭 및 애싱 프로세스에 이상적입니다. 사용자 친화적 인 인터페이스와 신뢰할 수 있는 프로세스 제어 (process control) 를 통해 지속적으로 정확한 결과를 필요로 하는 연구원들과 에칭 기술자들에게 이상적인 솔루션이 됩니다.