판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 480 #9269143

TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON TE 480은 최고 품질의 구성 요소를 생산하기 위해 고급 고정밀 응용 프로그램 및 프로세스를 사용하는 반도체 제조 및 마이크로 일렉트로닉스에 사용되는 에처/애셔입니다. 매우 정확하고, 안정적이며, 반복 가능한 백-에치 (back-etch) 프로세스를 제공하여 다양한 재료에서 고밀도, 고가상도 에치를 얻을 수 있습니다. TEL TE 480은 독점 TEL/TOKYO ELECTRON 제어 시스템을 사용하여 에칭 프로세스를 관리하며, 고급 알고리즘을 사용하여 더 작은 구성 요소의 최적화된 에칭 시간 및 더 높은 수율을 제공합니다. TOKYO ELECTRON TE 480은 최대 200 미크론의 에치 깊이를 선택할 수 있으며 이전 모델보다 최대 30% 더 큰 에칭 기능을 제공합니다. 또한, 프로세스 유연성 향상을 위해 2 리터 (2 리터) 에서 15 리터 (15 리터) 의 다양한 선박 크기와 다양한 온도 조절 시스템을 갖추고 있으며, 청소실 프로세스를 포함한 다양한 응용 분야에서 사용할 수 있습니다. 또한 자동 웨이퍼 전송 (automatic wafer transfer) 및 매거진 (magazine) 시스템은 높은 처리량뿐만 아니라, 향상된 가동 시간 및 웨이퍼 안전 (wafer safety) 을 가능하게 하며, 통합 엔드 포인트 그림 (EPP) 시스템은 가장자리 및 기타 불규칙성을 감지하여 자동 정지 위치를 높은 정확도를 보장합니다. 소프트웨어 측면에서 TE 480 은 강력한 프로세스 관리, 보고, 실시간 조정 등 다양한 모니터/분석 기능을 제공합니다. 또한 다양한 에치 작업 (etch job) 요구에 대한 다양한 레시피가 제공되며, 적외선 광원 기능 (infrared light source capability) 과 같은 추가 기능을 통해 고밀도 에칭을 위한 고급 기술을 활용할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON TE 480 에처 (Etcher) 는 오늘날의 정교한 마이크로 일렉트로닉스 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계되었으며, 고품질 에칭 및 애싱 결과를 제공할 수 있습니다.