판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 480 HGC #9226078

TEL / TOKYO ELECTRON TE 480 HGC
ID: 9226078
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1989
Etcher, 6" 1989 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 480 HGC는 컴퓨터, 게임 콘솔, 가전 제품 및 기타 기기와 같은 모든 종류의 최종 제품에 대한 마이크로 일렉트로닉스를 제조하는 데 사용되는 기계 인 etcher/asher입니다. 이 유형의 etcher/asher는 고밀도 응용 프로그램에서 정확하고 정확하도록 설계되었습니다. TEL TE 480 HGC는 약 177 x 159mm의 큰 단일 피스 웨이퍼 표면적을 가지고 있으며, 이 면적은 6 인치 (또는 8 인치) 직경의 실리콘 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 산화에서 에치/애싱 (Etch/Ashing), 다양한 금속 증착, 이온 임플란트 및 증착 (echer/asher) 에 이르기까지 다양한 생산 과정을 포함하여이 에처/애셔는 대부분의 전형적인 마이크로 머신 작업을 처리 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON TE 480 HGC는 출력의 균일성을 보장하기 위해 높은 수준의 제어를 제공합니다. 높은 가스 처리 효율 (HGE) 은 에너지 효율성을 높입니다. 또한 프로세스 요구 사항을 세밀하게 조정하기 위해 EPA 등급 검증 온도 및 압력 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 2 단계 주 조절 가능 압력 시스템은 10 가지 두께의 균일 한 접착 층 또는 식각 층을 추가로 확인합니다. TE 480 HGC는 최첨단 절연 재료를 사용하여 균일 한 열 분배 및 향상된 열 성능을 제공합니다. 이것은 최적의 프로세스 온도를 결정하기 위해 장치의 하단 데크 (deck) 에 위치한 온도 센서 (temperature sensor) 로 수행됩니다. 조용한 작동으로 인해 기계는 모든 환경에 장착 할 수 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON TE 480 HGC는 직관적인 사용자 친화적 인 인터페이스를 제공합니다. 에치 깊이 (etch depth), 에치 속도 (etch rate), 압력 (pressure) 및 가스 유형 (gas type) 과 같은 많은 매개변수로 쉽게 프로그래밍 할 수 있습니다. 수작업으로 또는 컴퓨터 제어 감독 시스템 (computer-controlled supervisory system) 에서 프로그래밍되며, 대부분의 프로세스에 적합한 레시피를 선택할 수 있습니다. 마지막으로 TEL TE 480 HGC는 ANSI/SEMI-S2-98 SMC-1000 표준을 통과함에 따라 반도체 산업 표준을 준수합니다. 이렇게 하면 기계의 모든 부품 (part) 과 작업 (operation) 이 최고 품질 표준에 따라 설계 및 테스트됩니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON TE 480 HGC는 최첨단 기능을 갖추고 정확하고 정확한 마이크로 머키닝 솔루션을 제공하도록 설계된 안정적이고 자동화된 etcher/asher입니다. 고밀도 응용 프로그램 (high-density application) 에 적합하므로 우수한 마이크로 일렉트로닉 제품을 생산하려는 제조업체에게는 이상적인 선택입니다.
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