판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TE 480 HG #9276697

TEL/TOKYO ELECTRON TE 480 HG는 전자 반도체 웨이퍼를 처리하도록 특별히 설계된 고성능 에처/애셔입니다. 이 리소그래피 장비 (lithography equipment) 는 더 나은 결과를 위해 가장 정밀하게 웨이퍼 표면에 얇은 층을 정확하게 제어합니다. TEL TE 480 HG는 2 세대 PMW (Pocket Mask Writing) 기술을 사용하여 광학 이미징 및 스캔리스 사진 해설이라는 두 가지 별도 기술을 결합합니다. 이 조합을 통해 사용자는 더 적은 수의 반복으로 마스크 노출 (mask exposure) 을 신속하게 완료할 수 있으며, 이는 기존 시스템보다 높은 정확도를 달성합니다. 또한, PMW 기술은 사용자에게 다양한 리소그래피 노출 레시피를 사용할 수있는 유연성을 제공합니다. TOKYO ELECTRON TE 480 HG는 고효율 시스템 구성을 통해 기존 시스템에 비해 생산성이 크게 향상됩니다. 고해상도, 고해상도, 저소음 디지털 컨트롤 서보 모터를 활용하여 와퍼 척 (Wafer chuck) 을 정확하고 빠르게 이동합니다. 이것은 흔들림을 줄이고 장치의 모든 부분에 대한 마모를 줄입니다. 전체 고출력 (HT) 운영 시간과 결합하여 시장에서 가장 신뢰할 수 있는 에칭 시스템 중 하나가 되었습니다. TE 480 HG는 또한 독점 유전체 증착 기술을 사용하여 전체 웨이퍼 표면에서 균등하고 일관된 박막 증착을 보장합니다. 이 유전체 증착 (dielectric deposition) 기술은 또한 증착이 균일하고 정확하기 때문에 생산량이 향상되고 비용이 절감됩니다. 이 기계는 사용자에게 모든 에칭 매개변수 (etching parameter) 에 대한 최고 수준의 제어를 제공하기 위해 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 구성 및 설치가 간편한 GUI (Graphical User Interface) 뿐만 아니라 정확한 실시간 모니터링 기능도 갖추고 있습니다. 이 도구는 다양한 인터 록 (interlock) 을 장착하고 HMI (human machine interface) 로 모니터링하여 안전하고 오류 없는 작동을 보장할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON TE 480 HG는 고급 웨이퍼 레벨 처리에 효과적인 에칭 자산입니다. 탁월한 정확성, 높은 처리량, 비용 절감, 고급 (advanced) 장치 지원, 안전하고 신뢰할 수 있는 환경, 탁월한 기능 세트를 제공합니다.