판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras #9236830

TEL / TOKYO ELECTRON Tactras
ID: 9236830
웨이퍼 크기: 12"
Etcher, 12" Vesta (3) chambers Vigus chamber.
TEL/TOKYO ELECTRON Tactras는 웨이퍼 샘플의 효과적이고 정확한 에칭 및 패턴을 위해 설계된 에처/애셔 장비입니다. 이 제품은 가장 복잡하고 정밀한 에칭 (etching) 어플리케이션을 위한 탁월한 성능을 제공하도록 설계된 고급 자동 시스템 (automated system) 을 갖추고 있습니다. TEL Tactras는 태양 전지와 같은 에칭 및 패턴화 웨이퍼 샘플을위한 고성능 솔루션을 제공합니다. 이 장치는 최적의 운영 결과를 위해 고급 자동화를 사용합니다. 각 에칭 샘플에 대해 정확하고, 반복 가능하며, 재현 가능한 조건을 가능하게 하는 여러 기능이 포함되어 있습니다. 정확한 에칭을 용이하게하기 위해, 기계는 특허를받은 가스 샤워 기술 및 진공 에칭 (vacuum etching) 방법을 갖추고 있으며, 이는 오염 물질을 대상 기판에서 멀리 떨어뜨리는 데 도움이됩니다. 이를 통해 에칭의 정확하고 반복 가능한 진행 (progress of etching) 을 가능하게 하여 사용자가 에칭 패턴을 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 도구는 또한 표면 온도 변화를 줄이고 우수한 에칭 조건을 유지하는 질소 냉각 대기 (nitrogen cooling atmosphere) 를 특징으로합니다. TOKYO ELECTRON Tactras는 사용하기 쉽고 직관적이며 사용자에게 친숙한 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 를 제공합니다. GUI는 웨이퍼 정렬, 웨이퍼 수율 제어, 오염 제어, 저장/복원 기능 등 여러 가지 고급 기능을 지원합니다. GUI에는 "빠른 설정 (Quick Setup)" 버튼도 있어 설치 프로세스를 크게 단순화합니다. Tactras etcher/asher 자산은 고급 멀티 큐 설계를 사용하여 프로세스 효율성을 극대화합니다. 이 설계를 통해 사용자는 여러 개의 에칭 (etching) 프로세스를 동시에 제어할 수 있으므로 가장 까다로운 작업에 보다 유연하게 작업할 수 있습니다. 또한 이 모델은 문제 해결을 위해 원격 액세스를 지원합니다. 안전 한 작업 환경 의 경우, 이 장비 는 또한 물 "스프레이 '냉각 장치 를 갖추고 있는데, 이것 은 전기 충격 으로 인한 제품 의 손상 을 방지 하는 데 도움 이 된다. 이 장치에는 소음 수준을 줄이는 방음 캐비닛도 있습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Tactras etcher/asher 머신은 고급 응용 프로그램을위한 프리미엄 에칭 기술을 제공합니다. 고급 자동 기능을 통합하여 뛰어난 성능을 제공합니다. 직관적인 GUI 및 고급 멀티 큐 (multi-queue) 설계를 통해 사용자는 정확하고 정확하게 웨이퍼 샘플을 효과적으로 에치할 수 있습니다. 이 도구에는 보안 작동을 보장하기 위해 몇 가지 안전 기능도 포함되어 있습니다.
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