판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras #293667129

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras는 마이크로 패브라이션 및 반도체 프로세싱을위한 에처/애셔입니다. 높은 정밀도, 품질로 기판을 에치 (etch) 및 애셔 (asher) 할 수 있도록 설계되어 비용 효율적인 기능을 제공합니다. TEL Tactras는 polysilicon, metals, silica, oxides 및 일부 유기 기질을 포함하여 다양한 재료를 에칭하고 부화 할 수 있습니다. 저압, 저온 및 고정밀 플라즈마 생성 장비를 특징으로하며, 탁월한 에칭 및 애싱 제어를 제공합니다. 이 시스템은 매우 다양한 에처 (etcher) 와 애셔 (asher) 로 구동되며, 이는 매우 정밀하고 반복성이 높은 맞춤형 프로세스를 허용합니다. etcher/asher에는 로드 언로드 스테이션 (load-unload station) 이 포함되어 있어 기판의 자동 로드 및 언로드가 가능하며, 최대 처리량을 위해 로드/언로드 주기가 결합됩니다. TOKYO ELECTRON Tactras에는 스테레오 미코 스코프 (stereomicroscope) 가 장착되어 있어 에칭 및 애싱 프로세스를 직접 관찰 할 수 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 가 항상 깨끗하고 작동하도록 혁신적인 자기 청소 장치가 장착되어 있습니다. 머신은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 조건을 쉽게 설정, 작동 및 모니터링할 수 있도록 사용자 친화적 인 소프트웨어로 제어됩니다. Tactras etcher/asher는 반도체 제조 및 고정밀 마이크로 패브레이션 작업과 같은 산업 응용 분야에 이상적입니다. 뛰어난 안정성과 반복성 (repeatability) 을 통해 높은 수율과 양질의 제품을 제공할 수 있습니다. 이 툴은 신뢰할 수 있고, 효율적이며, 비용 효율적인 솔루션을 제공하며, 이 솔루션을 통해 etcher/asher에게 탁월한 선택이 가능합니다.