판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras #293591387

TEL / TOKYO ELECTRON Tactras
ID: 293591387
빈티지: 2010
Etcher EFEM TM Power racks AC Racks (3) Chambers Accessories 2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Tactras는 반도체 업계에서 광범위한 프로세스에 사용되는 고도로 발전된 에처/애셔 (etcher/asher) 기술입니다. etcher/asher로서 TEL Tactras 장비는 매우 효율적이고 정확하며 신뢰할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Tactras 시스템은 유도 결합 플라즈마 (ICP) 소스를 사용하여 자유 전자를 생성함으로써 작동하며, 이어서 박막 층으로 가속됩니다. ICP 소스 및 광학 초점 렌즈 (optical focusing lens) 는 넓은 영역에 균일 한 플라즈마 빔 밀도를 제공하도록 설계되어 에치 (etch) 공정을 고도로 제어 할 수 있습니다. Tactras 에는 다양한 운영 매개변수 및 선택 가능한 매개변수 (예: 압력, 전력, 온도) 가 있습니다. 이렇게 하면 프로세스 변수의 미세 튜닝과 최적의 에치 레이트 (etch rate) 및 프로세스 산출이 가능합니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON Tactras에는 대화식 프로그래밍 가능 터치 스크린 인터페이스가 포함되어 있어 etcher/asher 장치를 쉽게 작동하고 자동화할 수 있습니다. TEL Tactras 기계에는 연동 도구 및 RF 보호 쉴드와 같은 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이 기능은 ICP 방사선의 잠재적으로 손상되는 영향으로부터 인원과 장비를 모두 보호합니다. 자산은 처리량 극대화, 비용 최소화, 프로세스 균일성 향상, 재현성 향상을 위해 완벽하게 조정하고 구성할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Tactras etcher/asher는 고급 형태의 마이크로 머신, 증착, 포토 마스크 및 에칭 프로세스에 적합합니다. 또한 Tactras 모델은 초고온, 저온, 저압 에칭 공정 및 고온, 고압 공정에 사용될 수 있습니다. 이 기능은 정밀 반도체 업계에서 다양한 응용 프로그램을 제공합니다. 결론적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Etcher/Asher는 효율적이고 안정적이며 정확한 에칭 및 애싱 프로세스를 제공하는 고도의 에칭 장비입니다. TEL Tactras 시스템은 다양한 안전 기능, 조정 가능한 매개변수, 최신 터치 스크린 인터페이스 (TEL Tactras System) 를 갖추고 있어 정밀 반도체 산업에 적합합니다.
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