판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK5 #293802353

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK5는 실리콘, 금속 및 세라믹을 포함한 다양한 물질에서 다층 패턴을 매우 정확하게 에칭하도록 특별히 설계된 etcher/asher입니다. Vigus RK5 (Vigus RK5) 는 고속 데이터 프로세서와 메모리 기능을 갖추고 고급 레이어 제어를 제공하며, 여러 마스크 레이어 에칭 및 다시 에칭 (re-etching) 작업을 수행할 수 있습니다. Vigus RK5는 매우 얇은 필름을 에칭하기 위한 탁월한 프로세스 기능을 제공합니다. 장비의 폐쇄 루프 시스템 및 피드 포워드 (feed-forward) 기능은 뛰어난 온도 조절과 일관되게 높은 에칭 정밀도를 제공합니다. 또한, 복잡한 형상이있는 필름의 균일 한 에칭을 보장하는 미세 조정 플라즈마 유닛이 특징입니다. 비구스 RK5 (Vigus RK5) 는 또한 여러 가스 제트 기능을 제공하여 잔류 함없이 처리하고 사용 된 가스의 양을 최소화하여보다 효율적인 에칭 공정을 초래합니다. Vigus RK5 etcher/asher에는 내장 인터 록 (interlock) 및 여러 전용 가스 센서 (gas sensor) 와 같은 안전 기능이 장착되어 있어 장비의 안전한 작동이 가능합니다. 또한 견고하고 완전한 모듈식 (Fully Modular) 구성이 가능하여 최대 수명 및 안정적인 프로세스 품질을 보장합니다. 이 기계는 또한 발열이 효율적이고 생산성이 높은 장기 플라즈마 (Plasma) 전원 공급 장치를 장착하고 있습니다. Vigus RK5는 에칭 프로세스 솔루션을 위한 탁월한 성능과 비용 효율성을 제공합니다. 직관적인 인터페이스, 사용자 친화적 기능, 강력한 기능을 통해 운영 및 유지 보수가 매우 간편합니다. 또한, 도전적인 재료와 구조를 처리 할 수있는 최첨단 (state-of-the-art) 기술을 가장 잘 사용합니다. 또한, 비구스 RK5 (Vigus RK5) 는 낮은 교란 소음을 제공하여 현대의 처리 환경에서 쉽게 통합 할 수 있습니다. 전반적으로, TEL Tactras Vigus RK5 etcher/asher는 광범위한 재료에서 복잡한 구조물의 에칭에 이상적인 선택입니다. 고급 에칭 기능, 안전 기능, 사용자 친화적 인터페이스, 견고한 구성, 수명이 긴 플라즈마 전원 공급 장치를 통해 고정밀도, 효율성, 비용 효율적인 에칭 프로세스를 구현할 수 있습니다.