판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4 #293649557

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4는 시장에서 널리 사용되는 etcher/asher로, 고급 기능을 갖춘 최고 수준의 정밀도를 제공하도록 설계되었습니다. 이 장비에는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스 모두에 이상적인 옵션이 있습니다. TEL Tactras Vigus RK4의 첫 번째 고유 한 특징은 가스 전달 시스템 (gas delivery system) 으로, 캐리어 가스와 최대 2 개의 가스 혼합물을 동시에 제공하여 광범위한 프로세스를 허용합니다. 또한 "가스 '배달 장치 는" 타이임' 의 개통 을 제공 하여 "아르곤 '의 흐름 과 반응 기간 을 약실 내 에서 쉽고 정확 하게 제어 할 수 있다. 또한, RK4는 자동 온도 조절 사이클링을 가능하게하여 공정 온도를 정확하게 관리 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4에는 에칭 및 처리 용 제품을 제거 및 운반하는 2 개의 회전 플라톤 어셈블리가 포함 된 진공 챔버가 장착되어 있습니다. 이 어셈블리는 직경이 최대 4인치인 제품을 수용할 수 있도록 설계되었으며, 프로세스 챔버 (process chamber) 에서 제품의 빠른 로드 및 언로드를 용이하게 합니다. Tactras Vigus RK4의 자동 압력 제어 장치 (Automatic Pressure Control Machine) 도 인상적인 기능으로, 에칭 또는 발작 과정에서 스플릿 초 압력 관리 및 제어를 허용합니다. 이 제어 도구를 사용하면 챔버 (chamber) 압력을 실시간으로 조정하고 교정하여 가장 정확하고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 압력 제어 자산을 가장 효율적으로 사용하기 위해 TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4에는 5 점 압력 측정 모델이 장착되어 있습니다. TEL Tactras Vigus RK4 (TEL Tactras Vigus RK4) 는 에칭 또는 재싱 과정에서 물질 손상 또는 불포화 위험을 최소화하기 위해 최대 정확도와 정확도를 위해 설계되었습니다. 이 장비는 온도 및 주변 상태를 정확하게 모니터링하여 프로세스 안정성 (process stability) 을 향상시킬 수있는 일반 난방/냉각 시스템을 제공합니다. 또한, TOKYO ELECTRON Tactras Vigus RK4에는 자동 안정화 장치가 장착되어 있어 최적의 결과에 대한 프로세스 변동이 줄어 듭니다. 요약하면, Tactras Vigus RK4는 에칭 및 애싱 프로세스에서 최고 수준의 정밀도를 제공하도록 설계되었습니다. 가스전달기 (Gas Delivery Machine), 자동 안정화 도구 (Autostabilization Tool) 및 5 포인트 압력 측정 자산과 같은 기능 모음은 RK4를 에칭 및 애싱 프로세스에서 매우 정확하고 일관된 결과를 얻기 위해 이상적인 선택으로 만듭니다.