판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3 #9284611

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus LK3는 다양한 재료의 정밀 에칭 및 재시를 위해 설계된 차세대 에치 및 애셔 장비입니다. 이 시스템은 microelectronics, biomedical, semiconductor 및 nanotechnology 부문에서 고품질 장치의 생산에 이상적입니다. 비구스 (Vigus) 는 높은 수준의 레이저 분리 (laser-isolation) 기술을 사용하여 최고 수준의 에칭 및 애싱 (ashing) 을 제공합니다. 즉, 가장 정확한 컷조차도 더 빠른 속도와 정확성으로 만들 수 있습니다. 이 장치는 TEL 독점 TCS (Technology Control Unit) 를 특징으로하며, 더 높은 에칭 및 애싱 속도, 향상된 프로세스 제어 및 더 큰 프로세스 예측 가능성을 제공합니다. 이를 통해 각 응용 프로그램에 대해 최적의 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 속도가 달성됩니다. 또한 GUI는 다양한 시각적 설정과 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 모드에 대한 사용자 친화적 제어 기능을 제공합니다. Vigus는 단일 레이어 및 다중 레이어 에칭 및 애싱 패턴을 모두 생성 할 수 있습니다. 이 장치는 금속, 비금속, 중합체, 심지어 석영과 같은 여러 재료를 처리 할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 흑연, 반도체 기판과 같은 유기 및 무기 물질을 처리 할 수도 있습니다. 또한, Vigus 는 청소, 에칭 (etching), 애싱 (ashing) 과 같은 다양한 에칭 및 애싱 옵션을 제공하므로 애플리케이션에 대한 접근 방식을 손쉽게 조정할 수 있습니다. Vigus는 다른 기계가 일치 할 수없는 뛰어난 정밀도를 제공합니다. 최대 25nm 해상도에 재료를 에칭 및 애싱 할 수 있습니다. 이 장치 가 정확 하게 제공 하는 "칩 '제조 및 기타" 마이크로' 전자 "애플리케이션 '의 가능성 은 사실상 무한 하다. Vigus는 또한 이전 모델보다 높은 처리량과 낮은 소유 비용을 제공합니다. 이 장치는 사용 가능한 다른 많은 에칭 및 애싱 시스템보다 에너지 효율 등급이 높습니다. 따라서 광범위한 디바이스를 대량으로 생산할 수 있습니다. 또한, 비구스 (Vigus) 는 광범위한 레시피 라이브러리를 제공하여 사용자가 서로 다른 에칭 및 애싱 기술 (빠르고 쉽게) 을 실험 할 수 있습니다. TEL Tactras Vigus LK3 (TEL Tactras Vigus LK3) 는 강력하고 정밀한 에치 (etch) 및 애셔 (asher) 툴로서 다양한 재료에서 고품질 장치를 만드는 데 도움이 되는 최고 수준의 제어 및 정확성을 제공합니다. 첨단 기술, 광범위한 레시피 라이브러리, 낮은 소유 비용 (TCO) 을 갖춘 Vigus는 대규모 생산을위한 이상적인 에치 및 애셔 자산입니다.