판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras SCCM #9290523

TEL/TOKYO ELECTRON TACTRAS SCCM (Super Chemical Control Machine) 은 다양한 금속화 응용 분야에 대한 깊은 에칭, 미세 패턴 및 프로파일 제어를 제공하는 데 사용되는 에처/애셔입니다. 이것은 기판에 대한 최소한의 손상으로 우월한 기판 수준의 평면을 제공하도록 설계된 반도체 공정 도구 (semiconductor process tool) 입니다. TEL Tactras SCCM에는 최고의 프로세스 기능과 향상된 제어 관리 기능을 제공하는 컴팩트한 디자인이 있습니다. 간편한 운영을 위한 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 갖추고 있으며, 자동 처리 및 모니터링을 통해 향상된 처리량을 제공합니다. 에처/애셔에는 습식 에칭 단계, 버핑 단계, 기판 플라나라이제이션 단계를 포함하는 3 단계의 자동 평면 화 (planarization) 가 있습니다. TOKYO ELECTRON Tactras SCCM은 또한 고급 오일 스트레이트로 프로파일 유형뿐만 아니라 에칭 깊이를 제어하는 '더블 에치' 기능을 제공합니다. Tactras SCCM에는 고급 제어 시스템 (고급 제어 시스템) 이 장착되어 있어 단일 제어 모듈의 자동 에칭, 고갈, 스퍼터링 등의 기능이 통합되어 있습니다. 이 제어 모듈은 etcher/asher 의 동기식 작동을 보장하며, 에칭 (etcher) 프로세스의 정확성과 일관성을 향상시키는 데 사용될 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON TACTRAS SCCM (Touch-Screen Control Unit) 도 장착하여 사용 편의성을 높이고, 모니터링 및 제어를 위해 다양한 시스템에 연결할 수 있습니다. 또한 원격 모니터링 (remote monitoring) 기능을 제공하여 장치를 원격 위치에서 모니터링 및 제어할 수 있습니다. TEL Tactras SCCM etcher/asher에는 박막, 화학 형 스퍼터링, 산화물 형 스퍼터링 및 역 이온 추출을 포함한 다양한 스퍼터링 기능도 있습니다. 내장 전자 빔 증발기는 빠르고, 효율적이며, 균일 한 박막 증착을 허용합니다. 또한, 촉각 감각 (tactile sensorex) 과 조작기 (manipulator) 는 기질의 위치와 속도에 대한 정확한 제어를 허용한다. TOKYO ELECTRON Tactras SCCM은 대용량 생산 및 프로세스 최적화에 이상적인 올인원 에처/애셔입니다. 정밀 에칭/스퍼터링/고갈 작업은 물론 다양한 자동화 기능을 제공합니다. 효율적이고 사용자 친화적인 설계로 뛰어난 생산성을 보장합니다.