판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON TAC-3WWZZWW #293587739

TEL/TOKYO ELECTRON TAC-3WWZZWW는 TEL Limited가 개발 한 반자동 웨이퍼 에처/애셔입니다. 이 장비는 한 번에 최대 4 개의 8 인치 (200mm) 직경 웨이퍼에 모든 유형의 전자 부품에 대한 높은 처리량과 반복 가능한 에칭 및 애싱 (ashing) 을 가능하게하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 고귀한 금속, 실리콘, 석영 및 기타 고온 (high-k) 유전체와 같은 광범위한 재료를 처리 할 수 있습니다. TEL TAC-3WWZZWW의 특징은 자동 제어 온도, 낮은 가스 소비율 및 챔버 전체에서 에치 및 애쉬 공정의 균일성을 보장하는 독특한 광섬유 조명을 포함합니다. TOKYO ELECTRON TAC-3WWZZWW의 에처/애셔 챔버는 스테인리스 스틸로 만들어졌으며, 바닥이없는 도가니 모양의 원통형입니다. 또한 질량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller) 와 챔버의 온도 조절을위한 열전대 (Thermocouple) 가 특징입니다. 또한, 2 개의 자동 밸브가 장착되어 있으며, 하나는 웨이퍼를 적재 및 언로드하고 하나는 가스 도입용입니다. 이 약실 은 또한 압력 조절 (pressure control) 을 갖추고 있으며, 연산자 들 은 공정 압력 을 정확 하게 조정 할 수 있다. 또한, 이 장치는 모든 방향으로 작동 할 수 있도록 설계되었으며, 최소 공정 변형 (process variations) 으로 정확한 에치 (etch) 및 재 (ash) 프로세스를 수행 할 수 있습니다. TAC-3WWZZWW에는 우연한 가스 누출을 방지하기위한 안전 연동 기계도 포함되어 있습니다. 공구는 금속 상자, 압력 스위치 및 누출 탐지기로 구성됩니다. 압력이 떨어질 경우, 즉시 자산을 차단하도록 설계되었습니다. 또한 유출 시 유해 가스를 걸러낼 수 있는 배기 (exhaust) 모델이 내장되어 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON TAC-3WWZZWW는 효율적이고 반복 가능한 웨이퍼 에칭 및 해시 프로세스를 가능하게하는 여러 가지 고급 기술을 자랑합니다. 여기에는 운영자가 챔버 내 온도 및 처리 상태를 정확하게 모니터링 할 수있는 고급 센서 기술 인 DMIF (Digital Microcontroller Interface) 가 포함됩니다. 이 장비는 또한 자동 밀봉 웨이퍼 홀더, 실시간 챔버 온도 모니터링, 레시피 기반 프로그래밍 및 최대 4 개의 프로그래밍 가능한 전열 온도와 같은 강력한 기능을 갖추고 있습니다. TEL TAC-3WWZZWW (TEL TAC-3WWZZWW) 는 광범위한 전자 부품의 에칭 및 재싱에 이상적인 도구입니다. 사용이 간편한 반복, 신뢰성 있는 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. 자동 제어 (Automatic Control) 기능을 통해 운영자는 집중적인 수동 입력이 필요 없이 제조 프로세스를 빠르고 정확하게 수행 할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 높은 처리량과 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스의 최대 정확성이 필요한 반도체 처리 실험실에도 적합합니다.