판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON T-3055SS #9038420
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ID: 9038420
SCCM Shin etchers, 12"
(4) Load ports
Type of carrier: Foup 25 Wafers
Process: Oxide Etch
Wafer type: 300mm V notch.
Wafer mapping: Yes
FFU(ULPA Filter): >99.9999% 0.12um
Process kit: Shin Kit
Chuck: Ceramic ESC
Generator: Daihan MGA50E , AGA 50B2
Slow & Fast pumping: Yes
Gasline piping type: ARDC
MFC: Unit 8561
MFC Type: Anlog/Digital MFC
MFC control mode: Analog control
Chiller: FST HC308136
Power Line 1:
Rated power input: 200 VAC, 50/60 Hz, 3 Phase, 1 Wire + ground
Main breaker rating: 175 A
Interrupting: 10 kA
Full load amps: 140 A
Ampere rating of largest load: 120 A
Power Line 2:
Rated power input: 200 VAC, 50/60 Hz, 3 Phase, 1 Wire + ground
Main breaker rating: 175 A
Interrupting: 10 kA
Full load amps: 130 A
Ampere rating of largest load: 110 A
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON T-3055SS Etcher/Asher는 뛰어난 정밀도 및 고급 프로세스 기능을 제공하는 고성능 etch/ash 프로세스 도구입니다. 이 장비는 반도체 제작 및 OLED 디스플레이와 같은 공정에서 박막 및 기타 재료를 생산하는 데 사용됩니다. TEL T-3055SS는 완벽한 자동 etch/ash 프로세스 플랫폼으로, etch/ash 프로세스에 대한 뛰어난 사용자 정의 옵션과 정확한 제어 기능을 제공합니다. 이 기계는 재료 및 공정 매개변수에 따라 최대 9 초의 빠른 고정밀 에치/애쉬 사이클 (etch/ash cycle) 시간을 제공합니다. TOKYO ELECTRON T-3055SS (TOKYO ELECTRON T-3055SS) 에는 식각 및 재싱을위한 독특한 전극 시스템이 장착되어 있어 기존 식각 및 재싱 기술보다 정확도가 높습니다. 전극은 2 개의 내부 히터 (internal heater) 와 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 과정에서 일정한 온도를 유지할 수있는 조절 가능한 노즐 유닛과 함께 작동합니다. 이렇게 하면 박막 및 기타 재료에 대한 효율적이고 정확한 etch/ash 공정 제어가 가능합니다. 이 기계에는 에치/애쉬 (etch/ash) 프로세스 매개변수를 자동으로 조정할 수있는 통합 비전 머신 (integrated vision machine) 도 장착되어 있습니다. T-3055SS는 다양한 프로세스를 간편하게 수행할 수 있도록 설계되었습니다. 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 사용자는 에치/애쉬 (etch/ash) 프로세스를 빠르고 최소한의 노력으로 설정, 모니터링, 제어할 수 있습니다. 이 시스템에는 샘플 로드 및 언로드를 자동화하는 로드 잠금 (옵션) 도 있습니다. 이를 통해 여러 개의 동시 프로세스가 수행됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON T-3055SS는 대용량 생산에 사용하기위한 신뢰할 수있는 에치/애쉬 도구입니다. 다양한 프로세스/옵션 패키지와 함께 사용할 수 있으며, 특정 요구 사항에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 통합 프로세스 모니터링 자산은 모든 프로그램, 프로세스, 디바이스 데이터를 기록하며, 사용자는 장기 분석, 프로세스 최적화 기능을 제공합니다. 또한, TEL T-3055SS는 안정된 성능을 보장하고 높은 수준의 안전성과 안정성을 제공하는 안전하고 안정적인 운영 모델을 갖추고 있습니다. 전체적으로 TOKYO ELECTRON T-3055SS (TOKYO ELECTRON T-3055SS) 는 에치/애쉬 프로세스의 정확성과 효율성을 극대화하려는 기업에게 탁월한 선택입니다. 뛰어난 자동화 및 맞춤형 구성 기능을 제공하며, 사용자에게 친숙한 인터페이스와 안정적인 성능을 제공합니다.
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