판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM #293776178

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM은 실리콘 웨이퍼에서 집적 회로를 생산하는 데 사용되는 에처/애셔입니다. 이 장비는 높은 정확성과 정확도로 실리콘 웨이퍼 (Silicon wafer) 의 회로를 에치 (etch) 하거나 애셔 (asher) 하도록 설계된 안정적이고 사용자에게 친숙한 도구입니다. 장비는 4 가지 주요 구성 요소 (주 제어 장치, 난방 장비, 가스 전달 시스템 및 광학 장치) 로 구성됩니다. 제어 장치 (Control Unit) 는 전체 머신을 제어하는 역할을 하며, etcher/asher의 다른 컴포넌트를 조정하는 데 사용되는 모터, 밸브 및 센서를 포함합니다. 텔 SCCM (TEL SCCM) 의 가열 도구는 전체적으로 균일 한 에칭을 용이하게하기 위해 제어 된 온도 환경을 제공합니다. 이것은 웨이퍼 위에 배치 된 적외선 램프 또는 전자 레인지 방출기를 사용하여 수행됩니다. 열 "에너지 '는 열 의 낮은 균일 한 강도 를 내어, 최적 의 에칭 환경 을 조성 한다. 가스 전달 자산은 필요한 반응물을 에칭 챔버 (etching chamber) 에 공급합니다. 여기에는 O2, CF4 및 O3과 같은 가스가 포함됩니다. 이러 한 "가스 '는" 탱크' 용기 에 저장 된 다음 일정한 유속 으로 "에칭 '실 에 투입 된다. 도쿄 전자 SCCM (TOKYO ELECTRON SCCM) 의 광학 모델은 에칭 프로세스의 진행 및 결과를 관찰합니다. 광학 현미경, 카메라, 일련의 광학 센서로 구성됩니다. 이 장비를 사용하면 에칭 (etching) 프로세스를 모니터링하고 조정하여 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 전반적으로, SCCM은 안정적이고 사용자 친화적 인 에처/애셔 (etcher/asher) 로, 매우 정확하고 정밀하게 고품질의 집적 회로를 생산할 수 있습니다. 장비의 다양한 구성 요소가 원활하게 연동하여 제어를 받고 최적의 에칭 (etching) 환경을 제공합니다. 이 장비를 통해, 집적 회로 제조업체는 높은 품질의 제품을 자신있게 생산할 수 있습니다.