판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM TE #9412419

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM TE는 아셔 (asher) 라고도하며 반도체 제조에 사용됩니다. 그것 은 "웨이퍼 '표면 을 손상 시키지 않고 반도체" 웨이퍼' 의 표면 에서 원치 않는 물질 을 제거 하는 데 사용 되는 도구 이다. 기계는 플라즈마 소스, 진공 챔버 및 기판 스테이지로 구성됩니다. 혈장 공급원은 진공실에서 이온화 된 가스를 방출합니다. 이온화 된 가스는 웨이퍼 표면과 상호 작용하도록 만들어진다. 이러 한 상호 작용 은 "웨이퍼 '의 표면 에서 원치 않는 물질, 이를테면 광소시스트 를 제거 한다. 플라즈마 소스는 고주파 전기 방전 (high-frequency electric discharge) 을 사용하여 플라즈마를 만들고, 기판 단계는 진공 챔버의 중앙에 위치한다. 이 단계 는 "웨이퍼 '를 제자리 에 두도록 만들어졌으며, 공기 흐름 과" 에칭' 과정 을 위해 조정 할 수 있다. TEL SCCM TE의 주요 장점 중 하나는 정확성입니다. 이 기계 는 "웨이퍼 '표면 에서 원치 않는 물질 을 정확 히 제거 하도록 설계 되어 있어서, 반도체 제조 에 이상적 이다. 또한 효율성이 높으며 한 번에 여러 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 매우 다양하며, 다양한 에칭 프로세스에 사용될 수 있습니다. 기계의 작동도 비교적 간단합니다. 일반적으로 몇 가지 간단한 단계로 설정됩니다. 즉, 연산자가 시스템 사용을 빠르게 시작할 수 있습니다. 기계는 또한 비교적 작으며 작동하기 위해 비교적 적은 공간이 필요합니다. 또한, 다른 에처와 비교할 때 기계는 상대적으로 저렴합니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON SCCM-TE는 반도체 제조에 이상적인 매우 정확하고 다재다능한 에처입니다. 그것 은 "웨이퍼 '의 표면 에서 표면 을 손상 시키지 않고 신속 하고 정확 하게 원치 않는 물질 을 에칭 하도록 설계 되었다. 또한 작동하기 쉽고, 공간과 비용이 상대적으로 적습니다.