판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM TE #9398277

TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON SCCM TE는 반도체 산업의 정확한 표준을 충족하도록 특별히 설계된 전체 기능 에처 (asher라고도 함) 입니다. TEL/TOKYO ELECTRON Semiconductor Process Equipment 라인업의 일부로, 정밀한 마이크로칩 에칭에 이상적인 도구이며, 운영 유연성, 정확성 및 처리량을 제공합니다. 다른 TEL 장비 (TEL 장비) 와 마찬가지로, 최소한의 유지 보수와 함께 일관된 결과를 제공하도록 제작되었습니다. TEL SCCM TE에는 다양한 고급 기능이 있습니다. 강력한 885MHz (측면 벽) RF 발전기를 장착하여 100 kHz ~ 22GHz의 다양한 주파수를 제공합니다. 정확한 에칭을 위해, 이 장치는 최고 전력 전송 효율성을 위해 기판에 정확하게 일치하는 임피던스를 위해 옵션으로 제공되는 고성능 LMN (High-performance, High-accuracy Load Matching Network) 을 제공합니다. 또한 LMN은 왜곡이 거의 없는 광범위한 활성 작동 주파수 (active operating frequency) 및 소스 매칭 (source matching) 을 허용합니다. 또한 TOKYO ELECTRON SCCM-TE는 4 채널 슬라이드 카비넷 턴테이블을 특징으로하여 여러 기판에 대한 다양한 에칭 구성을 관리하는 데 예상치 못한 다재다능성을 제공합니다. 가변 속도 반응 볼 모터는 가속 또는 감속 할 때 매끄럽고, 낮은 진동 망상 회전 및 정확한 움직임을 제공합니다. 이 장치에는 조정 가능한 운영자 콘솔, 터치 스크린 인터페이스, 넓은 해상도 테이블 (Resolution Table) 이 포함 된 인체 공학적 디자인도 있습니다. 또한 SCCM TE에는 레티클 교수형 및 스태킹을 제거하여 생산성 및 처리량을 향상시키는 VTS (Vertical Transport System) 가 내장되어 있습니다. VTS는 또한 위아래로, 왼쪽 및 오른쪽으로 기판을 4 방향 회전시킬 수 있습니다. 또한, 이 솔루션에는 옵션 MEMS 척, 라인 히터 및 OES (optical emissive system) 센서가 포함되어 있어 온도 및 기판 프로파일과 같은 에칭 매개변수를 정확하게 감지합니다. 또한, TOKYO ELECTRON SCCM TE에는 에칭의 끝점을 예측하고, CCD 센서를 통한 모션 모니터링, 프로세스 기록 표시를 통해 에칭 프로세스 속도를 높일 수있는 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 직관적이고, 사용자 친화적인 제어 기능과, 운영 유연성을 통해 다양한 운영 맞춤형 구성이 가능합니다. 따라서, 더 효율적이고 정확하게 일자리를 완성하고 전반적인 생산성을 향상시키는 데 사용될 수 있습니다. TEL SCCM-TE는 반도체 업계에서 높은 평가를 받았으며, 안정적인 결과, 속도 및 정확성으로 유명합니다. 따라서, 섬세한 부품 및 반도체 칩을 식각하기에 훌륭한 선택입니다. '고급 기능' 과 '기능' 은 기업에서 정확한 에칭 (etching) 또는 기판 관련 작업을 수행해야 하는 훌륭한 자산입니다.