판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM TE #9235809

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM TE는 고정밀, 고출력 웨이퍼 제작 요구를 위해 특별히 설계된 고급 에처/애셔입니다. 이 도구는 정확한 처리 프로세스를 보장하기 위해 여러 가지 기능으로 제작되었습니다. 예를 들어, 카운터 밸런스 메커니즘은 에칭 챔버 (etching chamber) 에서 웨이퍼가 이동, 진동 또는 손상되지 않도록 합니다. 또한, 기계의 전원 제어 장비는 웨이퍼를 과식으로부터 보호합니다. TEL SCCM TE는 다중 가스 제어가 가능한 고급 가스 전달 및 제어 모듈을 갖추고 있습니다. "에처 '는" 가스' 공급량 을 조절 하여 기판실 에서 독특 한 화학 환경 을 유지 하여 "에칭 '을 정확 하게 수행 할 수 있다. 또한, 빠른 작동, 고출력 단일 웨이퍼 에치 소스를 사용하면 에처가 짧은 시간 안에 구조를 정확하게 가져올 수 있습니다. 두 단계 에칭을 사용하여 필요한 프로세스 시간을 최소화할 수 있습니다. 에처에는 완전 자동화 된 로딩 암이 함께 제공되어 웨이퍼의 정확하고 안정적인 로딩/언로드가 보장됩니다. 또한 자동 웨이퍼 클리닝 시스템 (Automatic Wafer Cleaning System), 정확한 온도 조절 장치 (Temperatic Control Unit) 및 정적 제거 장치 (Static Elimination Machine) 와 같은 여러 가지 효과적인 메커니즘이 있습니다. 미묘한 웨이퍼 (wafer) 와 기판 (기판) 문제를 감지하기 위해 적외선 카메라가 설치되어, 웨이퍼가 장치에 올바르게 로드되어 에치 (etch) 프로세스가 제대로 수행됩니다. TOKYO ELECTRON SCCM-TE에는 다양한 장애 예방 및 보호 메커니즘도 포함됩니다. 이러한 측정에는 번개 보호 도구, 경보 자산, 다수의 안전 장치 및 플래티넘 인코더 (platinum encoder) 가 포함되어 있어 정확한 위치를 지정할 수 있습니다. 또한 화재를 감지, 경고, 통제 할 수있는 화재 방지 모델이 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON SCCM-TE는 대용량, 고정밀 웨이퍼 처리를 위해 설계된 혁신적인 에처/애셔입니다. 첨단 기술은 정확성, 반복성, 안전하고 효율적인 에치 프로세스를 보장합니다. 전원 제어 장비, 고급 가스 공급 및 제어 모듈 (Advanced Gas Delivery and Control Module), 완전 자동 로딩 암 (Fully Automated Loading Arm), 다양한 장애 방지 및 보호 메커니즘과 같은 완벽한 에칭 환경을 보장하는 다양한 기능이 있습니다.