판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM TE #293634373

TEL / TOKYO ELECTRON SCCM TE
ID: 293634373
웨이퍼 크기: 12"
Dry etcher, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON SCCM TE는 반도체 제작 산업에서 널리 사용되는 고급 에처/애셔 장치입니다. 실리콘 웨이퍼, 알루미늄 슬러그 (aluminum slugs) 및 기타 반도체 재료와 같은 기질에 대한 전체 표면 처리 공정을 수행 할 수 있습니다. 그것 은 정확 하고 신속 하게 "패턴 '," 에칭' 및 전기도금 금속성 물질 과 부품 을 깨끗 하고 오염 시키지 않도록 설계 되었다. TEL SCCM TE etcher/asher에는 일련의 수평 및 수직 진공실과 함께 석영 또는 스테인리스 스틸 핫 플레이트가 장착되어 있습니다. 핫 플레이트는 최대 350 ° C의 균일 한 열을 제공 할 수 있으며, 에칭 전에 표면 플랫 팅 (surface flattening) 과 같은 사전 처리 프로세스에 사용될 수 있습니다. 방은 6 염화 황 가스로 채워져 있으며, 우수한 에칭 결과를 제공합니다. 핫플레이트 및 진공 챔버의 조합은 우수한 에칭/도금 정확도를 제공합니다. 또한, 이 시스템에는 에칭 (etching) 과 도금 (plating) 주기 사이의 프로세스 가스를 청소하고 재순환하는 데 도움이 되는 내장 퍼지 시스템이 포함되어 있습니다. TOKYO ELECTRON SCCM-TE etcher/asher는 반도체 제조 산업의 에칭 및 도금을위한 강력하고 다용도 도구입니다. 최고 품질의 에칭을 허용하며 복잡하고 간단한 석판화 (lithographic) 프로세스에 가장 적합한 결과를 얻을 수 있습니다. 핫플레이트 및 진공 챔버는 효과적으로 균일하고 정확한 에칭 및 도금 결과를 생성합니다. 또한 내장형 퍼지 (purge) 시스템은 프로세스 가스를 청소하고 재순환하여 탁월한 정확성과 반복성을 제공합니다. 이 장치는 신뢰성이 높고, 비용 효율적이며, 다양한 재료와 어플리케이션에 대한 탁월한 결과를 제공합니다.
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