판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9271008

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin Etcher/Asher는 화학 에칭 및 애싱 공정에 대한 신뢰성이 높고 정확한 장비입니다. 내구성이 뛰어난 다기능 시스템으로 2 개의 챔버와 3 개의 탱크가 있습니다. 이 장치는 다양한 기판의 빠르고, 안정적이며, 정확한 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 이 필요한 어플리케이션에 이상적입니다. 기계의 첫 번째 챔버 (Chamber) 는 수송 장치 (Transport Unit) 와 2 개의 처리 챔버 (Processing Chamber) 가 장착 된 트랙 유형 도구이며, 에칭 프로세스와 애싱 프로세스 모두에 이상적입니다. 이 챔버는 2 대의 탱크 자산을 사용하며, 하나의 탱크는 처리에, 다른 하나는 잔류 물 수집에 사용됩니다. 이 모델에는 자체 냉각 장치 (cooling unit) 가 장착되어 있어 에칭 및 애싱 (ashing) 과정에서 안정적이고 균일 한 냉각이 가능합니다. 두 번째 약실은 전기 화학 에칭/애싱 챔버 (eching/ashing chamber) 로, 다양한 기판의 정확한 에칭을 위해 다양한 조정 가능한 매개변수를 제공합니다. 이 방에는 정전기 척 (electrostatic chuck) 이 장착되어 있어 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 공정에 대한 높은 수준의 제어가 가능합니다. 이 기능을 사용하여 전기 화학 에칭/애싱 공정의 실행 시간을 크게 줄입니다. TEL SCCM Shin Etcher/Asher의 세 번째 탱크는 에칭 및 애싱 과정에서 생성 된 잔기를 수집하는 데 사용됩니다. 이 "탱크 '는" 필터' 와 원심분리기 장치 를 갖추고 있어서 크기 에 따라 입자 를 효율적 으로 수집 하고 분리 할 수 있다. 또한, 일부 특정 기질의 가스 보조 에칭을위한 질소 공급 시스템도 포함되어 있습니다. TOKYO ELECTRON SCCM Shin Etcher/Asher는 안전하고 신뢰할 수있는 처리 장치로, 다양한 에칭 및 애싱 프로세스에서 사용할 수 있습니다. 다양한 처리 매개변수 (processing parameter) 와 기능을 제공하여 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한, 기계에는 자체 냉각 도구, 질소 공급 자산, 필터/원심 분리기 (filter and centrifugation) 모델이 장착되어 있어 안전하고 안정적인 고효율 처리 장비를 제공합니다. 결론적으로 SCCM Shin Etcher/Asher는 정확한 에칭 및 애싱 프로세스에 적합한 시스템입니다.