판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9241291

TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin
ID: 9241291
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
Systems, 12" 2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin은 포토 마스크 배치 처리와 플라즈마 에칭을 결합하여 고품질의 저가 마이크로 전자 장치를 생산하도록 설계된 에처/애셔입니다. 이 첨단 기술을 통해 단일 머신에서 매우 복잡한 장치 구조를 생산할 수 있습니다 (영문). 결과는 최적의 수율, 낮은 재료 비용 및 높은 주기 시간입니다. TEL SCCM Shin (TEL SCCM Shin) 은 웨이퍼를 반응성 이온 에찬트에 노출시켜 작동하며, 그 후 웨이퍼에 증착된다. 이 프로세스는 배치 (batch) 방식으로 수행되며, 높은 정확성과 반복성으로 복잡한 기능을 제어할 수 있습니다. 또한 기계는 온보드 컴퓨터 (on-board computer) 와 함께 제공되어 압력 (pressure), 전원 (power), 에찬트 (etchant) 볼륨과 같은 에칭 매개변수를 쉽게 조정할 수 있으며, 이로써 운영자는 특정 요구에 맞게 에칭 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON SCCM Shin의 정밀도는 고해상도 기능을 생산하는 데 이상적인 선택입니다. 에칭 깊이와 너비는 모두 조절 가능하며 범위는 0.5-25입니다. 따라서, 지오메트리 및 채널을 0.5 미크론만큼 작게 만드는 데 사용할 수 있습니다. 플라즈마 에칭 (etching) 프로세스의 높은 정확성과 반복성은 서로 다른 웨이퍼 배치 (wafer batch) 에서도 복잡한 기능이 정확하게 복제되도록 보장합니다. SCCM 신은 애셔로도 사용될 수 있습니다. 이것 은 "웨이퍼 '의 표면 을, 전기 특성 을 향상 시키기 위해" 웨이퍼' 의 표면 을 산화 시키는 데 사용 할 수 있는 산소 의 조절 용량 에 균등 하게 노출 시키는 것 을 포함 한다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin의 디자인은 최소한의 오염 및 교차 오염을 보장합니다. 이를 통해 매우 민감한 마이크로 일렉트로닉 응용 프로그램에서도 안정적인 장치 생산이 가능합니다. TEL SCCM Shin은 고품질 마이크로 전자 장치를 생산하기위한 비용 효율적인 솔루션입니다. 사용하기 쉬운 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 를 통해 사용자 친화적이며, 처리량이 높으며, 에칭 매개변수를 저장하는 통합 데이터베이스 (Integrated Database) 를 제공합니다. 또한, 다양한 기판 재료를 지원하여 다재다능하고 신뢰할 수있는 etcher/asher입니다.
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