판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9238870

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin은 반도체 및 평면 패널 디스플레이 제조 회사에서 사용하는 etcher/asher의 한 유형입니다. 이 제품은 높은 생산성과 뛰어난 성능을 자랑하는 장비로, 고유한 사용 편의성을 제공합니다. TEL SCCM Shin은 공정 유해 물질을 etcher 내부에서 분리하는 CCS (Closed Chamber System) 챔버를 갖추고 있습니다. 이것은 냄새와 입자의 생성을 줄이면서 안전한 작업 환경을 보장합니다. 또한 특허를받은 듀얼 플래튼 설계로 제조 효율성이 극대화됩니다. 도쿄 전자 SCCM 신 (TOKYO ELECTRON SCCM Shin) 은 2 개의 독립적 인 플래튼 시스템을 갖추고 있으며, 많은 웨이퍼에서 에치 작업을 수행하는 데 적합합니다. 단일 작업으로 최대 9 개의 웨이퍼를 동시에 처리할 수 있으며, 프로세스 수익률과 처리량이 증가합니다. 이 장치는 또한 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer), 금속 후 기판, 코팅 된 기판 저항과 같은 선택적 기판을 제공하여 다양한 공정 유연성을 제공합니다. 또한, 기계는 에너지 절약 (energy saving) 모드를 가지고 있으며, 비활성 기간 및 유휴 시간 동안 전력 소비를 줄일 수 있습니다. SCCM 신 에처 (SCCM Shin etcher) 에는 두 개의 팔을 가진 웨이퍼 수송 도구가 있으며, 하나는 먹이를위한 것이고 다른 하나는 적재용입니다. 이렇게 하면 기판 변경을 빠르게 수행할 수 있으며, 웨이퍼 (Wafer) 변경 시간이 짧은 상태에서 프로덕션 (Production) 및 테스트 (Test) 웨이퍼를 모두 처리하는 데 단일 도구를 사용할 수 있습니다. 자산에는 한 번에 최대 16 개의 웨이퍼를 저장하는 자동 카세트 체인저 (auto-cassette changer) 가 장착되어 있으며, 운영자는 수동 로드 및 언로드 작업에서 벗어날 수 있습니다. etcher/asher는 사용자 친화적이며 유지 보수가 최소화되어 단순화 된 작업을 제공합니다. 이러한 설계로 기존 운영 라인에 쉽게 통합할 수 있으며, 원격 운영 및 현장 지원 (Onsite Support) 에 적합합니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin은 SEMI 표준을 준수하며 Automation Platform Server와 같은 다른 제조 시스템과 데이터를 전송하고 공유 할 수 있습니다. 따라서 운영 통계 (Production Statistics) 를 간편하게 모니터링하여 전체 운영 프로세스의 효율성을 향상시킬 수 있습니다. 요약하자면, TEL SCCM Shin etcher/asher는 사용자를 염두에 두고 설계된 고성능 모델입니다. 탁월한 프로세스 유연성을 제공하므로 기판보다 빠르게 변경하고, 프로세스 수익률 및 처리량을 줄일 수 있습니다. 또한, 사용자 친화적인 설계를 통해 기존 운영 라인에 쉽게 통합할 수 있으며, SEMI 표준을 준수하여 효과적인 데이터 공유 (data sharing) 및 데이터 전송이 가능합니다. 전반적으로, TOKYO ELECTRON SCCM Shin은 생산성을 높이고 반도체 및 평면 패널 디스플레이 제조업체의 안전을 보장하기위한 완벽한 도구입니다.