판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9133015

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin은 모양, 패턴 및 표면 처리와 같은 다양한 반도체 응용 분야에 사용되는 고성능 에칭/애싱 장비입니다. 200mm, 300mm 및 450mm를 포함한 다양한 웨이퍼로 빠르고 정확한 작동을 제공합니다. 이 기계는 웨이퍼 표면에서 필요한 영역의 에칭/해시를 가능하게하는 CVD (chemical vapor deposition) 시스템을 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 수동 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 에 비해 작업 시간과 비용이 줄어듭니다. TEL SCCM Shin etcher/asher는 photoresist의 에칭/애싱 및 Silicon, Copper, Silicon Oxide, Silicon Nitride, Silicon Carbide 및 Gallium Arsenide와 같은 기타 재료와 같은 다양한 기능을 가지고 있습니다. 원치 않는 미립자가 기계를 탈출하지 못하게하고 주변 표면을 손상으로부터 보호하는 고급 오존 (Ozone) 공기 정화 장치가 있습니다. 이 기계는 빠르고 쉬운 작동을 위해 고급 HMI (Human Machine Interface) 로 설계되었습니다. 이 기계에는 저압 비활성 가스 대기 환경도 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 깨끗한 환경에서 작업을 수행할 수 있습니다. 이를 통해 에칭 및 애싱 프로세스가 오염 없이 수행됩니다. 또한 에칭/애싱 (etching/ashing) 시 사용되는 잠재적 인 위험한 화학 물질로 인해 환경이 손상되지 않습니다. TOKYO ELECTRON SCCM Shin etcher/asher에는 고급 웨이퍼 액세스 머신도 있습니다. 이 도구를 사용하면 빠르고 효율적인 웨이퍼 로드/언로드 작업을 수행할 수 있습니다. 이는 또한 주변 환경에 불필요한 웨이퍼 노출을 방지합니다. 또한 에칭/애싱 (etching/ashing) 프로세스를위한 통합 냉각 에셋이 있으며, 이는 웨이퍼 표면의 손상을 방지합니다. SCCM Shin etcher/asher에는 신속한 문제 해결 및 수리가 가능한 고급 진단 기능도 있습니다. 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 사용하면 작업을 쉽게 수행할 수 있으므로 작업을 빠르게 설정할 수 있습니다. 결론적으로, TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin etcher/asher는 환경에 대한 오염 및 위험을 최소화하면서 빠르고 정확하고 신뢰할 수있는 작동을 제공하도록 설계된 고급 에칭/애싱 모델입니다. 고급 HMI, 저압 대기 환경, 통합 냉각 장비, 고급 웨이퍼 액세스 시스템 및 진단 기능이 있습니다. 이것은 다양한 반도체 응용 분야에 이상적인 선택입니다.