판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #293614937

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin은 소형 집적 회로를 제조하도록 설계된 에처 또는 애셔입니다. 이 도구는 매우 다양한 유형의 머시닝에 사용할 수있는 매우 다양한 도구입니다. 기계는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 제작되어 견고하고 매력적입니다. 에처에는 또한 온도 처리 제어 모듈 (TCP) (Thermal Processing Control Module) 이 포함되어 있어 전체 기판에서 빠른 온도 제어를 용이하게하며 매우 정확한 에칭 메커니즘이 있습니다. 200mm, 150mm 및 100mm와 같은 다양한 소형 기판과 호환됩니다. TEL SCCM Shin 에는 3 가지 유형의 모니터링을 사용하여 가장 정확한 에칭 기능을 보장하는 지능형 장비가 포함되어 있습니다. 첫 번째는 처리 중 최적의 에칭 온도를 보장하는 데 사용되는 모니터입니다. 둘째, 에처 (etcher) 는 시각적 검사를 제공하며, 카메라 시스템이 내장되어 있어 에칭 전후에 제품을 검사하여 정확성을 보장할 수 있습니다. 마지막으로, SCCM은 설정 (settings) 과 처리 데이터를 자동으로 기록하고 저장하는 추적 로직 (tracking logic) 을 내장하여 필요할 때 쉽게 리콜할 수 있습니다. 이 도구의 마이크로 프로세서 (microprocessor) 는 에칭 속도와 압력을 빠르게 조정하도록 설계되었으며, 온보드 진공 장치는 일관된 최종 제품 특성을 보장하기 위해 최대 2 개의 바 (bar) 까지 꾸준한 진공 압력을 생성 할 수 있습니다. 또한 etcher 는 폭 및 깊이 에칭 (etch width and depth) 을 위한 조정 가능한 매개 변수를 제공하여 특정 애플리케이션의 설정을 세밀하게 조정할 수 있습니다. 정확도와 정확도를 더욱 향상시키기 위해 SCCM은 3 차원 이동 단계 (movement stage) 와 자동 동작 제어 (motion control) 를 통해 고속 및 높은 정확도 에칭 프로파일을 모두 사용할 수 있습니다. 도쿄 전자 SCCM 신 (TOKYO ELECTRON SCCM Shin) 은 에칭 중 열 왜곡을 최소화하여 정확성과 일관성을 향상시키는 냉각 기능을 내장했습니다. 화학적 산화 및 오염을 최소화하기 위해, 에처 (etcher) 는 원치 않는 가스를 긁기 위해 인라인 가스 스크러버 (in-line gas scrubber) 를 장착하여 최소한의 물질 손상으로 정확한 에칭을 가능하게한다. 뿐 만 아니라, 이 도구 에는 화학적 분배기 와 자동 "웨이퍼 핸들러 '가 장착 되어 있어서 쉽게 웨이퍼 를 적재 하고 언로드 할 수 있다. SCCM 신 (SCCM Shin) 은 다양한 응용 프로그램에 사용할 수있는 신뢰할 수있는 에칭 및 애싱 도구입니다. 고급 모니터링, 정밀 처리, 높은 정확도를 통해 하이엔드 에칭 (etching) 요구 사항에 이상적인 툴입니다.