판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ME-600P2 / ME-600IR #9382344

TEL/TOKYO ELECTRON ME-600P2/ME-600IR은 실리콘, 석영, 갈륨 비소, 갈륨 질화물, 구리, 알루미늄, 티타늄, 텅스텐 및 강철을 포함하여 다양한 물질의 정밀 에칭과 재시를 위해 설계된 에처/애셔입니다. TEL ME-600P2/ME-600IR은 고급 거친/미세 처리 모듈을 갖추고 있으며, 최대 1,310 sq cm 의 총 처리 면적을 사용하여 최대 12 개의 웨이퍼를 동시에 처리 할 수 있습니다. 또한 독립적으로 제어 할 수있는 석영로가 장착되어 있으며, 최대 1,350 ° C의 온도와 높은 수준의 공정 안정성을 제공합니다. 고유한 자동 기울기 기술 (Auto Slope Technology) 을 통해 균일 한 에치/애쉬 깊이에 대한 에치 프로파일을 지속적으로 업데이트할 수 있으며, 향상된 모니터 웨이퍼 로딩 및 언로딩 시스템은 쉽게 작동할 수 있습니다. ME-600P2는 13 개의 서로 다른 플라즈마 가스원 (헬륨, 아르곤, 육불화 황, 사플루오린화 탄소, 플루오린화 수소, 산소, 질소, 암모니아, 실리콘 수소, 수소 붕소, 염소 및 트라플루오린화 붕소 및 트라시브 레인지 및 트리플루오린화 붕소) 을 가능하게한다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 자동화 시스템에 쉽게 통합될 수 있으므로 복잡한 대용량 생산에 이상적입니다. 또한 ME-600IR에는 애싱/건조 프로세스에 사용할 수있는 추가 IR 램프 라인이 있습니다. TOKYO ELECTRON ME-600P2/ME-600IR은 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics) 및 반도체 제조 (semiconductor manufacturing) 와 같은 정밀 산업에서 광범위한 에칭 및 애싱 응용 분야를 위한 탁월한 솔루션입니다. 첨단 기능과 뛰어난 프로세스 안정성 (Exputing Process Stability) 을 통해 최소한의 처리 시간 (Processing Time) 으로 고품질의 결과를 얻을 수 있는 최적의 선택입니다.