판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ME-450II #9267385

TEL/TOKYO ELECTRON ME-450II는 반도체 장치에서 신뢰할 수있는 에치/애쉬 프로세스를 제공하도록 설계된 에처/애셔 머신입니다. 최신 기술을 갖춘 최첨단 기계입니다. 낮은 온도, 높은 정확도, 높은 처리량 (Throughput) 으로 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이 기계에는 고해상도 이미징 장비가 장착되어 있어, 고정밀 이미징이 가능합니다. 실시간 피드백을 제공하여 매개변수를 빠르게 조정할 수 있습니다. 얇은 유전체, 폴리 이마이드, 이산화규소, 기타 여러 기질 등 다양한 물질에서 에치/애쉬 공정을 수행 할 수 있습니다. 또한 광범위한 에치/애쉬 공정 화학 물질을 지원합니다. TEL ME-450II에는 사용자 친화적 인 인터페이스가 있으며 최소 설정 및 유지 보수가 필요합니다. 자동 균형 (auto-balance) 기능 덕분에 높이와 표면 지형이 바뀌더라도 정확하고 일관되게 작업 할 수 있습니다. 자동 균형 기능을 사용하면 기판, 서피스 텍스처, 재료 유형 (material type), 높이 (height) 를 기준으로 각 작업에 대한 에칭 매개변수를 설정할 수 있습니다. 이 기계에는 etch/ash 프로세스의 정확성을 보장하는 통합, 검증 된 PCS (Process Control System) 가 있습니다. 이 장치에는 etch 균일 제어 기계, 온도 조절 도구 및 압력 제어 자산이 포함됩니다. PCS를 사용하면 각 etch/ash 프로세스의 매개변수를 실시간으로 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 매번 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 TOKYO ELECTRON ME-450II에는 TEL-MPT (Multi-Path Tuning) 기술이라고하는 고급 플라즈마 공정 제어 기술이 있습니다. 이 기술은 두 개의 독립적 인 에칭 경로를 결합하고 각 경로에 대해 다른 압력, 온도, RF 전원 수준을 사용합니다. 다중 경로 튜닝 기술을 사용하면 정확한 etch/ash 결과를 얻을 수 있습니다. ME-450II (ME-450II) 는 에치/애쉬 (etch/ash) 프로세스를 수행 할 때 최고 정밀도와 정확도를 허용하는 최신 기술을 결합한 고급 에처/애셔 머신입니다. 반도체 소자 제조를 위한 신뢰할 수있는 도구이며, 높이와 표면 지형이 바뀌더라도 다양한 에치/애쉬 (etch/ash) 프로세스를 수행 할 수 있습니다.