판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON ME-450II #293594207
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ID: 293594207
빈티지: 1999
Dry etcher
Gas box
Glass size: 370 x 470 mm
(2) Chambers
Monitor rack
Loadlock
Rear block
Indexer
Regulator box
Main rack
Loadlock pump rack
Loadlock pump
P/C-R Pump
P/C-L Pump
Turbo controller rack
(2) Chillers
UPS
1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ME-450II는 반도체 장치 제조 공정에 사용되는 장비 유형 인 etcher/asher입니다. 집적 회로 (integrated circuit), 메모리 칩 (memory chip) 등 다양한 마이크로일렉트로닉 장치를 생산할 수 있다. TEL ME-450II (TEL ME-450II) 는 다양한 온도 설정과 에칭 (etching) 프로세스의 온도 및 압력을 정확하게 제어하는 기능을 갖춘 탁월한 프로세스 제어 및 안정성을 제공합니다. etcher/asher에는 실시간 모니터링 장비가 장착되어 있어 정확하고 일관된 에칭 결과를 보장합니다. 기계 는 "마이크로일렉트로닉 '장치 에 대한 부식, 입자 오염 및 기타 잠재적 인 손상 의 위험 을 최소화 하도록 설계 되었다. TOKYO ELECTRON ME-450II는 단일 챔버가있는 능률적이고 독립적인 구조를 가지고 있으며 최대 5 개의 로터리 헤드를 특징으로합니다. 소형 크기와 간편한 액세스 제어 (access control) 를 통해 공간이 제한될 수 있는 실험실 설정에 이상적입니다. 이 시스템은 뛰어난 유연성을 제공하여 다양한 프로세스 가스 (process gase) 를 사용하고, 높은 수준의 최적화를 위해 옵션 구성 요소를 추가할 수 있습니다. ME-450II는 고효율, 멀티 포인트 제어 장치, 매우 미세한 온도 및 압력 제어, 낮은 TCO (총 소유 비용) 로 설계되었습니다. 이 기계에는 고급 정리 도구 (clean-up tool) 가 장착되어 있어 비용을 절감하면서 최상의 결과를 얻을 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON ME-450II의 탁월한 프로세스 제어 외에도 레시피 개발, 실시간 프로세스 관리, 데이터 로깅 등의 사용자 친화적 인 소프트웨어를 갖추고 있습니다. 따라서 사용자가 에칭 프로세스를 손쉽게 모니터링, 제어, 최적화하여 보다 일관되고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. TEL ME-450II (TEL ME-450II) 는 광범위한 어플리케이션에 대해 우수한 결과를 제공할 수있는 고급 etcher/asher입니다. 공정 설정 (process setup) 과 제어 (control) 에 있어 유연성이 높은, 매우 정밀한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스가 필요한 프로젝트에 효과적인 솔루션입니다. 직관적 인 제어와 강력한 처리 기능으로 인해 현대 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics) 제조 환경에 이상적인 선택이되었습니다.
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