판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730W #9157641
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ID: 9157641
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
CVD System, 8"
W, WF5, ClF3, Ar, SiH4, H2, N2
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730W etcher/asher는 반도체 장치 제조를 위해 설계된 다재다능한 에칭 및 애싱 장비입니다. 이 장비는 하이엔드 반도체 장치의 연구 및 개발 활동, 처리, 제작에 적합합니다. 이 제품은 매우 컴팩트한 설계를 갖추고 있으며 여러 가지 혁신적인 기능으로, 시장에서 가장 발전된 에처 (etcher )/애셔 (asher) 중 하나입니다. TEL MB2-730W는 5 인치 ~ 12 인치 직경을 포함한 다양한 기판 크기를 처리 할 수 있으며 최대 12mm 두께의 기판을 처리 할 수 있습니다. 최고의 처리 결과를 얻기 위해 4 가스 질량 흐름 컨트롤러를 지원합니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 의 2 구역 샤워 헤드는 기판 표면에 공정 가스를 균등하게 분산시키는 역할을합니다. 고급 전기 네트워크는 2 개의 전극으로 구성되며, 이는 단일 극성 또는 양방향 작동을 위해 설정됩니다. 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 은 매우 정확한 에칭 및 애싱 프로파일을 달성하는 데 도움이 되는 고정밀 전원 공급 장치로 구동됩니다. TOKYO ELECTRON MB2-730W etcher-asher에는 프로세스의 끝을 제어하는 타이머와 자동 정지 기능도 포함되어 있습니다. 컴퓨터 프런트 엔드 (front end) 에 있는 작동 친화적인 디스플레이 화면을 통해 필요한 모든 매개변수에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 게다가, 그래픽 터치스크린 인터페이스를 사용하면 프로세스 매개변수 및 실시간 프로세스에 빠르게 액세스할 수 있습니다. 전반적으로, MB2-730W etcher/asher는 반도체 장치 제작을위한 안정적이고 정확한 에칭 및 애싱 프로세스를 제공하는 신뢰할 수있는 플랫폼을 제공합니다. 이 제품은 프로세스 개발 및 운영을 위한 유연성을 제공하며, 고품질 제작을 위한 프로세스 최적화 기능을 제공합니다. 사용자 친화적 인 인터페이스와 직관적 인 소프트웨어 제품군은 TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730W etcher-asher의 다양성과 사용 편의성을 더합니다.
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