판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730W #9157640

TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730W (TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730W) 는 다양한 기판에서 심오한 에칭 및 복잡한 패턴을 만들기 위해 특별히 설계된 전진 에처 및 애셔 장비입니다. 강력한 마이크로 웨이브 발전기 시스템을 통해 정확하고 제어 된 플라즈마 에칭 (plasma-etching) 을 가능하게하여 기판 손상의 가능성을 줄이고 더 나은 제어 처리를 초래합니다. 파장은 13.56MHz, 온도 범위는 200 ~ 700 ° C입니다. TEL MB2-730W에는 직관적인 터치 제어판 (Touch Control Panel) 도 있어 에칭 매개변수를 쉽게 조정할 수 있습니다. 최첨단 옵티컬 피드백 (Optical Feedback) 장치는 에치 레이트와 패턴 깊이를 동시에 모니터링하여 높은 정확도를 보장합니다. 이 기계는 또한 수행 할 수있는 에칭 프로세스 (etching process) 측면에서 매우 유연합니다. 에칭 전에 마스킹이 가능하여 하드 마스크 응용 프로그램 (hard mask application) 과 고정밀 (high-precision) 프로세스에 적합합니다. 또한, 고성능 진공 서브 시스템은 높은 프로세스 반복성을 보장하고 웨이퍼의 오염을 방지합니다. TOKYO ELECTRON MB2-730W에는 저소음 유지 보수 (low-noise maintenance-free) 도구가 있어 클린룸에 사용할 수 있습니다. 전반적으로, MB2-730W는 매우 강력한 에처 (etcher) 및 애셔 (asher) 자산으로, 에칭 프로세스에 대한 광범위한 에칭 기능과 정밀 제어를 제공합니다. 고급 기능은 높은 처리량, 낮은 결함, 향상된 수율을 제공하여 고정밀 (high-precision) 프로세스에 이상적입니다. 이 모델은 연구와 산업용 응용프로그램에 적합한 선택으로, 신뢰성이 높은 결과를 요구합니다.