판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #9395107
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ID: 9395107
빈티지: 2001
Metal CVD system, 8"
(3) Chambers
Control cabinet
No SMIF
Monitor
Monitor rack
2001 vintage.
텔/도쿄 전자 MB2-730 (TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730) 은 고밀도 에칭 또는 재 표면을 범위에서 생산하도록 설계된 고정밀 산업 에처/애셔입니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 시간당 최대 730 개의 웨이퍼를 가지며, 각 웨이퍼는 균일 한 에치 또는 재 작동을받습니다. 이 기계에는 정밀 플라즈마 소스가 장착되어 있으며, 에칭 깊이 (0.6äm 이하) 를 제공 할 수 있습니다. 장비는 고급 압력 컨트롤러 (Advanced Pressure Controller) 를 사용하여 에칭 프로세스를 정확하게 제어하여 에칭 결과의 정확도를 높입니다. 이 시스템은 높은 대비 에칭 (etching) 프로세스를 활용하여 에칭 (etched) 또는 재시 (ashed) 표면이 잘 보이고 쉽게 식별 가능합니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 또한 정교한 펄스 변조 발진기 장치를 갖추고 있으며, 에칭 공정을 제어하기위한 펄스 플라즈마 모드를 허용합니다. 또한 TEL MB2-730 은 고급 닫힌 루프 제어 머신 (closed-loop control machine) 을 갖추고 있어 특정 애플리케이션에 대한 엄격한 요구 사항을 충족합니다. 이 시스템은 실리콘, 석영, 유리 및 금속을 포함한 다양한 기판을 지원합니다. 이 도구는 또한 폴리머, 트랙 및 금속화의 증착을 지원합니다. 자산은 다양한 공구 (Tool) 및 재료 (Material) 설계와 완벽하게 호환되므로 운영 효율성을 높이고 프로세스 비용을 절감할 수 있습니다. 또한, 통합 클리닝 프로세스를 통해 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 작업 간의 효율적인 클리닝이 가능하므로 일괄 처리 결과가 일관되게 유지됩니다. 에처/애셔는 최대 안전성과 손쉬운 처리를 위해 설계되었습니다. 인력과 재료를 보호하는 다양한 안전 기능이 있습니다. 이 모델에는 열 센서, 초음파 센서, 광학 센서 (Optical Sensor) 가 장착되어 있어 프로세스를 모니터링하고 안전한 작동을 보장합니다. 이 기계는 자동 (automatic) 원격 작동을 위해 설계되었으며, 이를 통해 기계의 설치와 작동을 쉽게 수행할 수 있습니다. 도쿄 전자 MB2-730 (TOKYO ELECTRON MB2-730) 은 다양한 에칭 및 애싱 작업을위한 완벽한 선택으로, 정밀 에칭과 최대 0.6 미크론을 제공합니다. 이 기계는 고정밀도 제어 (high-precision control) 기능과 일관된 결과를 위한 통합 클리닝 프로세스를 갖추고 있습니다. 안전 기능은 잠재적 인 사고로부터 여러 수준의 보호 기능을 제공합니다. 마지막으로, 원격 운영 (Remote Operation) 과 자동 설정 (Automated Setup) 을 통해 모든 에칭 및 애싱 요구 사항을 쉽게 해결할 수 있습니다.
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