판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #293805336

ID: 293805336
빈티지: 1999
WCVD System (3) Process modules 1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730은 반도체 산업에 사용되는 장비 인 etcher/asher입니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 에칭 및 아시 옹 웨이퍼 기판을위한 이상적인 도구가 있습니다. 첫째, TEL MB2-730은 최대 7 인치 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 커다란 "웨이퍼 '크기 는 한 번 에 더 많은" 웨이퍼' 를 "에치 '할 수 있기 때문 에 처리 시간 이 훨씬 빨라진다. 또한 자동 언로드 (auto-unloading) 모드가 있습니다. 즉, 에칭 또는 어싱 프로세스가 완료되면 시스템이 자동으로 웨이퍼를 언로드합니다. 이를 통해 프로세스의 속도와 효율성이 더욱 향상됩니다. TOKYO ELECTRON MB2-730은 에칭 및 아 시옹 프로세스 전반에 걸쳐 높은 수준의 정확성과 반복 성을 유지하도록 설계되었습니다. 오토 튜닝 프로세스 (auto-tuning process) 는 최적의 처리 조건이 달성 될 때까지 흐름 속도와 압력을 지속적으로 조정하는 자동 튜닝 프로세스를 특징으로합니다. 이것은 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 프로세스의 변동성을 줄여 원하는 패턴을 일관되게 재생산하는 데 중요합니다. 또한 MB2-730 은 여러 레시피를 지원할 수 있습니다. 즉, 웨이퍼 재료와 웨이퍼 크기에 맞게 조정할 수 있습니다. 이것 은 고유 한 기판 을 사용 하는 사람 들 에게 중요 한 특징 이다. 즉, 동일 한 "에칭 '이나" 애싱' 과정 을 완전 히 사용자 정의 하고 필요 에 맞도록 조정 할 수 있다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 (TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730) 은 사용자에게 에칭 또는 애싱 프로세스의 모든 측면을 제어할 수 있도록 설계되어 있어 원하는 패턴이 일관되게 복제됩니다. 또한 직관적인 제어 시스템 (control system) 을 통해 운영자가 장치의 설정을 쉽게 프로그래밍하고 사용자 정의할 수 있습니다. 마지막으로, TEL MB2-730은 에칭 또는 애싱 프로세스 중 오염 및 중단을 줄이기 위해 설계되었습니다. 파퍼 캐리 (wafer carry) 시스템 (wafer carry system) 을 갖추고 있어 장치의 정밀도를 높이며, 외국 입자가 장치에 들어가서 기판을 오염 할 위험을 줄입니다. 요약하면, TOKYO ELECTRON MB2-730은 기판 에칭 또는 애싱 프로세스 동안 최대 효율성과 정확성을 제공하도록 설계된 에처/애셔입니다. 고도의 정밀하고 직관적인 제어 시스템과 함께, 독특한 웨이퍼 (wafers) 재료로 대형 웨이퍼 (Wafer) 와 재단사 (Tailor) 설정을 처리하는 능력은 반도체 실험실에 이상적인 선택입니다.
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