판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #293643026
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TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730은 TEL의 최신 광학 스캔 기술을 기반으로 한 고급 etcher/asher 시스템입니다. 대용량 기판 준비 및 처리 응용 프로그램을 위해 특별히 설계되었습니다. TEL MB2-730은 애싱/에칭 작업을 모두 수행 할 수 있습니다. 기판 면적을 정확히 모니터링하고 측정하기 위해 "센서 (sensor) '를 사용하여 생산 프로세스를 최적화하기 위한 고해상도 (High-resolution) 광학 시스템을 탑재했다. 이를 통해 TOKYO ELECTRON MB2-730은 탁월한 처리량 및 뛰어난 프로세스 반복성을 제공 할 수 있습니다. MB2-730은 초고 유도 결합 플라즈마 (UHICP) 기술을 사용하여 우수한 에치/애쉬 성능을 제공합니다. 고도의 선택성을 통해 매우 훌륭한 에칭 (etching) 결과를 제공할 수 있으므로 ULSI (Ultra-Large Integration) 반도체 프로세싱과 같은 하이엔드 애플리케이션에 적합합니다. TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730에는 사용자 친화적 인 인터페이스가 있어 최소한의 노력으로 정교한 ashing 및 etching 작업을 수행 할 수 있습니다. 또한 TOKYO ELECTRON PCP (Advanced Process Control Platform) 소프트웨어와 호환되므로 사용자는 원격 위치에서 프로세스를 정확하게 모니터링하고 조정할 수 있습니다. TEL MB2-730 은 TEL MB2-730 의 고급 설계와 기능을 통해 모든 대용량 기판 준비 및 처리 애플리케이션에 적합한 솔루션입니다. 높은 처리량 (Throughput) 기능과 결합된 컴팩트한 설계로, 다양한 유형의 기판에 효율적이고 비용 효율적인 솔루션이 됩니다. 고급 제어 소프트웨어 (Advanced Control Software) 를 통해 운영자가 사용자의 노력을 최소화하면서 정교한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업을 수행할 수 있으므로 고급 반도체 애플리케이션에 적합합니다.
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