판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9381806
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ID: 9381806
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
LPCVD Furnace, 12"
Process: DCS-MTO
Rapid cooling unit
Pump box
Power box
VOS-56-101P Heater
FUJIKIN Air valve
MFC, MFM: STEC
MAIN / APC: CKD
Load lock system
Storage
Front panel signal tower
Carrier transfer
FIMS Port
Wafer transfer
Boat elevator
Auto shutter
Operating system: Linux V2.13
Utility box:
WAVES Controller
GFC Panel
Operation panel
Data I/O
Gas unit
Cooling unit
APC Controller
Temperature controller
Vacuum line
Load port:
I/O FFU
Side FFU
Furnace subsystem:
Automation system
Heater
Process chamber
Temperature controller
Cooling water unit
Gas subsystem:
Gas supply unit
Exhaust
Vacuum line
Power box:
EMO Unit
Control board
Hardware switch
Transformer
SCR Unit
N2 Purge unit
RCU Unit
Gases:
SiH4
SiH4Cl2
N2O
NH3
Missing parts:
QUARTZ Wares
Scavenger
Manifold
(2) Hard Disk Drives (HDD)
Power supply: 440/208 V
2007 vintage.
텔/도쿄 전자 인디 (TEL/TOKYO ELECTRON Indy) 는 광범위한 재료의 정확한 대규모 에칭을 위해 설계된 신뢰할 수있는 애셔/에처 장비입니다. 이 시스템은 고급 프로세스 기술 및 기술 플랫폼 (platform of advanced process technology and technology platform) 을 통합하여 탁월한 에칭 성능을 제공합니다. 이것 은 "반도체 ', 반도체" 칩', 유기 기판, 박막, 기타 많은 물질 을 높은 수준 의 정확도 로 에칭 할 수 있게 해 준다. 이 장치에는 정확한 움직임과 제어를 위해 프로그래밍 가능한 로봇 컨트롤러 (robot controller) 가 제공되어 복잡한 패턴의 정확한 에칭이 가능합니다. 이 기계는 단일 레이어 에치 (single layer etch), 다중 레이어 에치 (multiple layer etch), 자동 클릭 (AutoClick), 다중 마스크 에치 (multi-mask etch) 등 다양한 프로세스 레시피를 지원할 수 있습니다. 이러한 기능을 통해 사용자는 프로세스 기능을 여러 개 조합하여 완벽한 에칭 (etching) 솔루션을 사용할 수 있습니다. 이 도구에는 에치 챔버 (etch chamber) 를 빠르고 효율적으로 청소할 수 있는 통합 자동 클리닝 기능도 있어, 일관된 성능을 제공합니다. 또한이 자산은 에칭 용도에 아르곤, 질소 및 산소 기반 가스를 사용할 수 있습니다. 이 모델은 또한 공정 오염, 높은 순도 환경, 효율적인 가스 전달 장비, 고급 제어 알고리즘 (Advanced Control Algorithms) 을 통한 효율적인 보호 기능을 제공합니다. 이것은 공정 화학 물질의 최대 추출을 허용하는 한편, 오염 속도를 최소화합니다. 이 시스템은 또한 종합적인 사용자 인터페이스 (user interface), 다른 장비의 미디어 속도 (media speed) 의 최고 2 배 속도, 다양한 재료와의 호환성 등 다양한 추가 기능을 제공합니다. 이 장치에는 실시간 모니터링 기능 (실시간 모니터링 기능) 을 통해 여러 재료의 에치 속도 (etch rate) 를 모니터링할 수 있으며, 예기치 않은 변경 사항을 감지할 수 있는 @ info: whatsthis 전반적으로 TEL Indy etcher/asher는 신뢰할 수 있고, 효율적이며, 포괄적 인 에칭 솔루션이 필요한 사람들에게 이상적인 기계입니다. 사용자 친화적 인 인터페이스, 광범위한 에칭 레시피, 고급 기능을 지원하는 TOKYO 일렉트로닉 인디 (TOKYO ELECTRON Indy) 는 다양한 에칭 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.
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