판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9379806

TEL/TOKYO ELECTRON Indy는 복잡한 고급 반도체 처리를 위해 설계된 에처/애셔입니다. 이 장비는 직경 12 인치까지 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 광화학 및 전기 화학 증착, 에칭, 저항 스트리핑 등 다양한 응용을 처리 할 수 있습니다. 자동화된 프로세스 제어 기능이 탑재되어 있으며, 한 번에 최대 4 개의 웨이퍼를 수용할 수 있습니다. 에처는 LIDP (laser-induced discharge plasma) 소스를 사용하여 물질을 기판에 배치하여 장치 레이어를 형성합니다. 에처는 Ar, CF4, PTFE, O2 및 CHF3을 포함한 다양한 가스를 작동에 사용할 수 있습니다. LIDP 플라즈마 소스는 4 가지 수준의 전력을 가지고 있으며, 이는 애플리케이션에 따라 다른 에칭 프로세스를 제어 할 수 있습니다. TEL 인디 (TEL Indy) 는 또한 전력 및 가스 흐름을 조정하는 데 사용되는 고해상도 제어 모듈을 갖추고 있습니다. 이는 보다 정확한 프로세스 제어 결과를 제공하며 TOKYO ELECTRON IndY가 더 복잡한 애플리케이션 요구 사항을 처리 할 수 있도록 합니다. Indy에는 고급 안전 시스템도 장착되어 있습니다. 여기에는 소스 전원 수준의 안전 점검, 가스 흐름 및 압력 설정이 포함됩니다. 이 장치는 또한 작동 중에 발생할 수있는 가스 누출을 감지하기위한 수동 안전 밸브 (passive safety valve) 를 특징으로합니다. 게다가, 기계에 Interlock 장치 (Interlock Device) 가 장착되어 있는데, 이 장치는 안전 설정이 활성화되지 않은 경우 장비가 시작되지 않도록 설계되었습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Indy의 챔버 디자인은 최적의 균일성을 보장하여 에칭 공정 효율을 극대화하는 혁신적인 모양을 특징으로합니다. 에처는 또한 스트리핑 속도가 낮아 에칭 결과가 가장 높은 품질이 될 수 있습니다. 이 낮은 스트리핑 속도는 또한 공정 중 오염을 방지하도록 설계되었습니다. TEL Indy는 고급 기능이 장착 된 다재다능한 에처입니다. 모듈식 디자인은 다양한 에칭 응용 프로그램에 적합합니다. 에칭 (etching) 및 증착 (deposition) 프로세스를 잘 제어하며 복잡한 요구 사항을 처리하고 우수한 결과를 제공할 수 있습니다. 이 도구는 운영 중 안전을 극대화하고 오염을 방지하기 위해 안전 기능으로 제작되었습니다. 신뢰할 수 있고 정확한 결과를 제공합니다.