판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9379803

TEL / TOKYO ELECTRON Indy
ID: 9379803
웨이퍼 크기: 12"
Furnace, 12" Process: Nitride.
텔/도쿄 전자 인디 (TEL/TOKYO ELECTRON Indy) 는 오늘날의 반도체 생산의 요구를 충족시키기 위해 고급적이고 정확한 기술로 설계된 에처/애셔입니다. 이 제품은 분당 최대 10 미크론 (미크론) 의 에칭 속도를 제공 할 수있는 고품질 증기 소스를 갖추고 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 자동 프로파일 제어를 특징으로하여 매우 정확하고 균일 한 에칭 프로세스를 허용합니다. CO2, CH4, SiH4, CF4, CH2F2 및 SF6을 포함한 모든 유형의 에치 및 애싱 가스와 호환되도록 설계되었습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 고급 반도체 장치 제조에 필요한 균일성 및 공정 정확성으로 뛰어난 프로세스 반복성을 제공하도록 프로그래밍됩니다. 최적의 에칭 프로세스 (etching process) 매개변수를 유지하기 위해 온도와 압력을 지속적으로 모니터링하는 독특한 자동 피드백 (auto-feedback) 장비가 특징입니다. 이 효율적인 시스템은 온도 및 압력 변동과 관련된 문제를 제거하는 데 도움이됩니다. 안전성 측면에서, 에처/애셔 (etcher/asher) 는 기술자가 유해 물질에 노출되지 않도록 보호하기 위해 다양한 예방 조치로 설계되었습니다. 이러한 조치에는 안전 검증 (Safety Validation) 및 차단 시스템, 자동 압력 제어 장치 등이 포함됩니다. 또한, 건식 비활성 가스 머신은 챔버에서 에치/애쉬 입자 잔기를 제거하는 데 도움이됩니다. TEL 인디 (TEL Indy) 는 고급 에칭 및 애싱 애플리케이션의 요구와 요구를 충족하도록 특별히 설계되었습니다. 고급 기능은이 에처/애셔 (etcher/asher) 가 고도의 반도체 장치의 정확하고 정확한 제작에 이상적입니다. 프로세스 반복성을 유지하고, 주기 시간을 최적화하는 동시에 매개변수를 제어하도록 설계되었습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 탁월한 기능을 통해 오늘날의 대용량 반도체 생산 라인을 위한 직관적이고 신뢰할 수있는 솔루션을 제공합니다.
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