판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9311184

TEL/TOKYO ELECTRON Indy는 매우 복잡한 메모리 칩 및 반도체 장치 제조를 위해 정확한 etch/ash 공정 제어를 제공하는 우수한 etch/ash 장비입니다. 이 시스템은 고급 패턴 (advanced patterning) 기술로 설계되었으며, 다양한 재료 유형과 형상으로 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 을 수행할 수 있습니다. 가변 에치/애쉬 프로세스 제어, 장비 스테이지 스캐닝, 기판 스테이지 정확도 제어, 자동 결함 감지 등 중요한 프로세스 기능을 제공합니다. 이 기계는 Silicon, Germanium, Gallium Arsenide 및 Indium Phosphide와 같은 기질을 처리 할 수 있습니다. 모든 재료 유형은 외부 하드웨어가 필요 없이 에치 (etching) 하거나 애쉬 (ashed) 할 수 있습니다. 이 기계에는 터치 스크린 전면 패널과 다양한 안전 및 프로세스 모니터링 (safety/process monitoring) 기능이 장착되어 있습니다. 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 있으며, 필요한 모든 기능과 옵션이 명확하고 체계적인 형식으로 정렬되어 있습니다. 장비에는 조절 가능한 전압, 전력, 압력 및 전류를 포함한 다양한 etch/ash 공정 제어 매개변수가 제공됩니다. 여러 개의 센서와 측정 장치가 있으며, 에칭 (etching) 또는 재싱 (ashing) 프로세스의 다양한 특성 (압력, 전류, 온도) 을 측정합니다. 이러한 측정을 통해 다른 기판 재료 및 형상에 대한 프로세스를 최적화할 수 있습니다. TEL 인디 (TEL Indy) 는 고급 유닛 제어 및 통신 아키텍처를 통해 명령에 대한 빠른 응답을 제공합니다. 저소음 기계에는 방진 (anti-vibration) 기술도 있어 에치/애쉬 프로세스 동안 높은 정확도를 유지할 수 있습니다. 게다가, 장비 는 효과적 으로 자동화 될 수 있으며, 수작업 에 비하여 상당 한 시간 을 절약 할 수 있다. 이 도구는 시간당 80 ~ 160 개의 웨이퍼를 수용 할 수있는 대규모 볼륨 생산을 처리하도록 설계되었습니다. 또한, 건식 에치 챔버 (dry etch chamber) 와 애셔 챔버 (asher chamber) 의 병렬 구성을 통해 처리량이 증가하여 전체 처리 시간이 더욱 단축됩니다. 건조 에치 (dry etch) 와 애셔 (asher) 구성을 변경하여 처리 중인 웨이퍼 수를 늘릴 수도 있습니다. TOKYO ELECTRON Indy는 복합 기판 제작을 위해 설계된 고급 에치/애쉬 자산입니다. 이 모델은 정확한 에치/애쉬 (etch/ash) 프로세스 제어를 제공하여 최고 품질의 제품을 생산할 수 있습니다. 가변 프로세스 제어 (variable process control), 자동화 (automation), 처리량 (high-throughput) 과 같은 고급 기능을 조합하면 장비가 복잡한 기판 제작에 이상적인 선택이 됩니다.