판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9311033

TEL/TOKYO ELECTRON Indy (열 에치/애쉬) 는 Tokai Electronics에서 개발 한 고급 드라이 에치/애쉬 장비입니다. 저압 화학 에칭 공정이 특징이며 Si, SiO2, SiN, SiC, SiGe, WAS, MET 및 폴리머와 같은 수많은 기질의 열 에칭에 적합합니다. 이 시스템에는 뛰어난 프로세스 제어 기능 (process control) 이 있으며, 온도 프로파일은 프로세스 모니터를 통해 설정 및 모니터링됩니다. 피로 코돈 에처 (Pyrocordon Etchers) 는 뛰어난 에치 매개 변수를 가지고 있으며, 얇은 필름과 두꺼운 필름의 에칭을 최적화합니다. 텔 인디 (TEL Indy) 에는 여러 에칭 챔버가 제공되어 다양한 재료를 에칭할 수 있습니다. 이 장치에는 더 작고 복잡한 패턴과 기능을 에칭 할 수있는 근접 에처 (Proximity Etcher) 도 포함되어 있습니다. 이 기계는 또한 가장 높은 프로세스 반복성을 보장하기 위해 다양한 옵션을 제공합니다. 프로세스 웨이퍼 (process wafer) 추적 및 위치 제어는 모두 에칭 프로세스의 반복성에 기여합니다. 이 도구에는 안전 엔지니어링을위한 다양한 옵션 (예: 향상된 안전을위한 공기 흐름 셔터) 이 포함되어 있습니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON Indy 열 에치/애쉬 자산은 다양한 기질의 고정밀 에칭을 허용합니다. 견고한 설계, 신뢰할 수 있는 프로세스 제어, 고해상도 에칭 (eching) 을 위한 다양한 옵션으로, 이 모델은 고성능 전자 장치와 부품을 제작할 수 있는 안정성이 뛰어난 도구입니다.