판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9276770

TEL/TOKYO ELECTRON Indy는 TEL (TOKYO ELECTRON) 이 설계하고 제조 한 에처/애셔입니다. 특히 기판에서 금속, 폴리머 필름 (polymer film) 과 같은 재료의 선택적 에칭 및 증착을 가능하게하고, 제어 된 재료 층을 생성하도록 설계되었습니다. TEL Indy는 진공 실에 장착 된 에칭 챔버 (etching chamber), 증착 장치 (deposition unit) 및 청소 장치 (cleaning unit) 의 세 가지 주요 구성 요소가있는 모듈 식 설계를 갖추고 있습니다. 에칭 챔버 (eching chamber) 는 아노화 된 알루미늄으로 만들어졌으며, 가스를 방출하고 에칭을위한 화학 물질을 도입하는 데 사용됩니다. 증착 장치 는 "스테인레스 '강 으로 만들어졌으며" 웨이퍼' 에 박막 을 증착 하는 데 사용 된다. 청소 장치 는 연마 된 "스테인레스 '강 으로 만들어졌으며, 여러 개 의" 노즐' 과 "챔버 '로 이루어져 젖고 마른 청소 를 할 수 있다. 도쿄 전자 인디 (TOKYO ELECTRON Indy) 는 압력, 온도, 가스 흐름 속도, 시간 등 다양한 제어 매개변수를 갖추고 있으며, 정확한 에칭 및 증착이 이루어지도록합니다. 또한 Indy 는 여러 개의 Pressure Switch, Gas Rheostat, Interlock 과 같은 다양한 안전 기능을 활용하여 최적의 성능과 안전성을 보장합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Indy (TEL/TOKYO ELECTRON Indy) 는 특허를받은 자체 포함 진공 시스템을 사용하여 챔버의 무결성을 보장하고 재료의 누출을 방지합니다. 또한 원격 모니터링 기능 (remote monitoring feature) 을 사용하여 시스템 매개변수를 원격으로 모니터링하고 조정할 수 있습니다. TEL Indy는 전자-사이클로트론 공명 (ECR) 아크 에칭, 전자 빔 증발 (EBE) 증착 및 물리적 증착 (PVD) 증착과 같은 여러 반도체 에칭 및 증착 기술을 사용합니다. 또한 다양한 에칭 및 증착 과정을 용이하게하기 위해 반응 챔버, 펌프, 로드 락 (load lock) 과 같은 다양한 액세서리가 장착되어 있습니다. 도쿄 일렉트로닉 인디 (TOKYO ELECTRON Indy) 는 고도의 다용도로 설계되어 있으며, 사용자가 실리콘, 알루미늄, 반도체 필름을 포함한 다양한 재료를 에치하고 입금 할 수 있습니다. 결론적으로, 인디 (Indy) 는 재료의 선택적 에칭 및 증착을 위해 특별히 설계된 고도로 발전된 에처/애셔입니다. 다양한 제어 매개변수 (control parameter) 와 다양한 안전 (safety) 기능을 통해 최적의 성능과 안전성을 보장합니다. 또한, 모듈식 디자인, 다양한 액세서리, 다용도 반도체 에칭 및 증착 기능을 통해 다양한 에칭/증착 어플리케이션에 이상적인 툴이 됩니다.